搬送機構

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：特許業務法人東京アルパ特許事務所 , 川村恭子 , 佐々木功 , 久保健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-086265
公開番号（公開出願番号）：特開2015-207622
出願日： 2014年04月18日
公開日（公表日）： 2015年11月19日
要約：

【課題】安価な搬送機構で搬送ロボットを構成するとともに搬送機構の修理や調整を容易にする。【解決手段】本発明の搬送機構は、板状ワークWを保持する保持ユニット21とこれを上下方向と水平方向とに移動させる移動ユニット24とを備える搬送ロボット20と、搬送ロボット20を直線状の走行方向に走行させる走行ユニット24とにより構成され、走行ユニット24によって搬送ロボット20を走行方向に走行させつつ、移動ユニット24の旋回部28によって保持ユニット21を搬送先に向けて旋回させることにより、保持ユニット21が保持する板状ワークを搬送先に搬送するため、、安価な搬送機構で搬送ロボット20を構成でき、搬送機構の構成が簡易となり該搬送機構の修理や調整を容易に行うことができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

板状ワークを保持する保持ユニットと該保持ユニットを上下方向と水平方向とに移動させる移動ユニットとを備える搬送ロボットと、該搬送ロボットを直線状の走行方向に走行させる走行ユニットと、により構成され、該走行ユニットの走行方向に複数配設される搬送先に板状ワークを搬送する搬送機構であって、該保持ユニットは、板状ワークを保持する保持部と、該保持部を支持し該移動ユニットに連結された直線状のアーム部と、を備え、該移動ユニットは、該アーム部に連結され該保持ユニットを支持する支持柱と、該支持柱を上下させる昇降部と、該支持柱を軸として該保持ユニットを水平方向に旋回させる旋回部と、を備え、該走行ユニットは、該搬送ロボットを直線状の走行方向に走行させる走行レールと、該走行レールに沿って該搬送ロボットを走行させる走行駆動源と、を備え、該走行ユニットによって該搬送ロボットを走行方向に走行させつつ、該移動ユニットの該旋回部によって該保持ユニットを該搬送先に向けて旋回させることにより、該保持ユニットが保持する板状ワークを該搬送先に搬送する搬送機構。

IPC (4件)：

H01L 21/677 , B65G 49/07 , B25J 9/06 , B24B 41/06

FI (4件)：

H01L21/68 A , B65G49/07 C , B25J9/06 D , B24B41/06 L

Fターム (41件)：

3C034AA08 , 3C034BB73 , 3C034BB82 , 3C707AS05 , 3C707BS15 , 3C707CT02 , 3C707CT04 , 3C707CV04 , 3C707CV07 , 3C707CY37 , 3C707FS01 , 3C707NS13 , 5F131AA02 , 5F131BA32 , 5F131BB03 , 5F131CA37 , 5F131CA45 , 5F131DA32 , 5F131DA33 , 5F131DA36 , 5F131DA42 , 5F131DA54 , 5F131DA62 , 5F131DB02 , 5F131DB22 , 5F131DB42 , 5F131DB52 , 5F131DB62 , 5F131DB72 , 5F131DB76 , 5F131DB88 , 5F131EA05 , 5F131EA06 , 5F131EA12 , 5F131EA24 , 5F131FA13 , 5F131FA26 , 5F131FA32 , 5F131FA35 , 5F131GA03 , 5F131HA07

引用特許：

審査官引用 (5件)

デカルトロボットクラスタツール構築
公報種別：公開公報出願番号：特願2012-195132 出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2012-029801 出願人：株式会社安川電機
基板搬送装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-514237 出願人：ブルックスオートメーションインコーポレイテッド

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