特許
J-GLOBAL ID：201503010464332099
プラズマ発生装置およびプラズマ発生方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
渡辺 望稔
, 三和 晴子
, 伊東 秀明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-096065
公開番号（公開出願番号）：特開2015-215942
出願日： 2014年05月07日
公開日（公表日）： 2015年12月03日
要約：
【課題】簡単な構成でありながら広い領域に熱プラズマを直接照射することができるプラズマ発生装置およびプラズマ発生方法を提供する。【解決手段】中心軸Cの周りを囲む円環状のループ管の一部を切り欠くことにより一対の開口端が形成された形状を有するガス流通管2内にプラズマ発生ガス注入口4からプラズマ発生ガスを注入し、それぞれ中心軸Cの周りを囲むように巻回され且つガス流通管2を挟み込む一対の巻き線部31,32を有する空心コイル3に高周波電源6から高周波電力を供給して一対の巻き線部31,32の間に電界を形成すると共に中心軸Cに沿った磁界を形成することでガス流通管2内に誘導熱プラズマを発生させ、ガス流通管2の一対の開口端から真空チャンバ1内に誘導熱プラズマを射出する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
真空チャンバと、
中心軸の周りを囲む円環状のループ管の一部を切り欠くことにより一対の開口端が形成された形状を有すると共に前記一対の開口端を介して前記真空チャンバ内に連通するガス流通管と、
前記ガス流通管の中間部に形成されたプラズマ発生ガス注入口と、
それぞれ前記ループ管の前記中心軸の周りを囲むように巻回され且つ前記ガス流通管を挟み込む一対の巻き線部を有する空心コイルと、
前記プラズマ発生ガス注入口から前記ガス流通管内にプラズマ発生ガスを流した状態で前記空心コイルに高周波電力を供給して前記一対の巻き線部の間に電界を形成すると共に前記ループ管の前記中心軸に沿った磁界を形成することで前記ガス流通管内に誘導熱プラズマを発生させる高周波電源と
を備え、前記誘導熱プラズマが前記ガス流通管の前記一対の開口端から前記真空チャンバ内に射出されることを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (3件)：
H05H 1/30
, H05H 1/46
, H01L 21/31
H05H1/30
, H05H1/46 L
, H01L21/31 C
5F045AA08
, 5F045EH04
, 5F045EH11
