サンプルホルダ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：三好秀和 , 伊藤正和
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-121581
公開番号（公開出願番号）：特開2013-245393
特許番号：特許第5817646号
出願日： 2012年05月29日
公開日（公表日）： 2013年12月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】プラズマ処理装置に格納され、櫛歯状に配置された電極と対向する位置にセットされて、互いに隣接する2つの前記電極と前記電極同士を連結する櫛の柄部とによって上部端面が囲まれるサンプルホルダであって、処理対象の基板を搭載する搭載領域が定義された搭載面を有し、前記搭載面の面取り開始位置から面取り終了位置まで前記サンプルホルダの厚みが徐々に薄くなるように前記搭載面における前記柄部に対向する前記上部端面である外縁の角部がC面取り又はR面取りされ、前記搭載領域と前記面取り開始位置とで前記サンプルホルダの厚みが一定であることを特徴とするサンプルホルダ。

IPC (2件)：