特許
J-GLOBAL ID：201503014943078267

ガス放出機構を備えたキャンロールを用いた長尺フィルムの処理方法

発明者：
渡邉 寛人

渡邉 寛人 について

, 
神田 栄三郎

神田 栄三郎 について


出願人/特許権者：
住友金属鉱山株式会社

住友金属鉱山株式会社 について


代理人 (2件)： 辻川 典範 ,  山本 正緒
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-089839
公開番号（公開出願番号）：特開2015-209552
出願日： 2014年04月24日
公開日（公表日）： 2015年11月24日
要約：
【課題】 長尺フィルムにうねりやシワを発生させることなく安定して長尺フィルムを処理できる方法を提供する。【解決手段】 ロールツーロールで搬送される長尺フィルムに対してキャンロール56の外周面に巻きつけた状態でスパッタリング処理等の熱負荷の掛かる表面処理を施す長尺フィルムの処理方法であって、キャンロール56の外周肉厚部には周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って複数のガス導入路24が配設されており、各ガス導入路24はキャンロール56の外周面で開口する複数のガス放出孔25を備えており、キャンロール56の外周面に巻きついている長尺フィルムがその単位面積当たり張力によってキャンロール56の中心軸Oに向って引っ張られる力に基づいてガス導入路24の供給ガス圧を制御する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される長尺フィルムに対して内部に冷媒循環路を備えたキャンロールの外周面に巻きつけた状態で熱負荷の掛かる表面処理を施す長尺フィルムの処理方法であって、前記キャンロールの外周部には周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って複数のガス導入路が配設されており、各ガス導入路は前記キャンロールの外周面で開口する複数のガス放出孔を備えており、前記ガス導入路の供給ガス圧をG[Pa]、前記キャンロールの外周面に巻きついている長尺フィルムがその単位面積当たり張力によってキャンロールの中心軸に向って引っ張られる力をΡ[Pa]とした時、Pに基づいてGを制御することを特徴とする長尺フィルムの処理方法。
IPC (1件)：
C23C 14/56
FI (1件)：
C23C14/56 D
Fターム (10件)：
4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029BA08 ,  4K029BA25 ,  4K029BB02 ,  4K029CA05 ,  4K029DC16 ,  4K029DC39 ,  4K029JA10 ,  4K029KA03
引用特許：
審査官引用 (5件)
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