特許
J-GLOBAL ID:201503016560964982

フレキシブル薄膜磁気センサ素子の使用方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  久野 琢也
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-543869
公開番号(公開出願番号):特表2015-505957
出願日: 2012年11月28日
公開日(公表日): 2015年02月26日
要約:
本発明の課題は、電気機械及び磁気軸受におけるフレキシブル薄膜磁気センサ素子の使用方法を提供し、このフレキシブル薄膜磁気センサ素子を、空隙幅を実質的に制限することなく空隙に配置することができるようにすることである。この課題は、少なくとも1つのフレキシブル薄膜磁気センサ素子の使用方法において、前記少なくとも1つのフレキシブル薄膜磁気センサ素子は、空隙内において、電磁エネルギ変換器及び磁気機械エネルギ変換器の主要要素の少なくとも1つの上又は側に、非平面表面上に取り付けられており、前記空隙内の磁束密度を測定するために、及び/又は、電磁エネルギ変換器及び磁気機械エネルギ変換器を制御及び/又は監視するために、空隙内の前記主要要素の少なくとも1つの前記非平面表面を、少なくとも部分的に覆っている、ことを特徴とする少なくとも1つのフレキシブル薄膜磁気センサ素子の使用方法によって解決される。
請求項(抜粋):
少なくとも1つのフレキシブル薄膜磁気センサ素子の使用方法であって、 前記少なくとも1つのフレキシブル薄膜磁気センサ素子は、空隙内において、電磁エネルギ変換器及び磁気機械エネルギ変換器の主要要素の少なくとも1つの上又は側に、非平面表面上に取り付けられており、前記空隙内の磁束密度を測定するために、及び/又は、電磁エネルギ変換器及び磁気機械エネルギ変換器を制御及び/又は監視するために、前記空隙内の前記主要要素の少なくとも1つの前記非平面表面を、少なくとも部分的に覆っている、 ことを特徴とする少なくとも1つのフレキシブル薄膜磁気センサ素子の使用方法。
IPC (4件):
G01R 33/07 ,  H01L 43/06 ,  H01L 43/08 ,  H01F 10/14
FI (4件):
G01R33/06 H ,  H01L43/06 Z ,  H01L43/08 Z ,  H01F10/14
Fターム (29件):
2G017AA01 ,  2G017AD51 ,  2G017AD65 ,  5E049AA01 ,  5E049BA16 ,  5E049DB06 ,  5F092AB01 ,  5F092AC01 ,  5F092AC02 ,  5F092AC05 ,  5F092AC06 ,  5F092AC11 ,  5F092AC14 ,  5F092BA02 ,  5F092BA11 ,  5F092BA12 ,  5F092BA20 ,  5F092BA32 ,  5F092BB04 ,  5F092BB06 ,  5F092BB22 ,  5F092BB35 ,  5F092BB36 ,  5F092BB42 ,  5F092BB43 ,  5F092BB44 ,  5F092BB45 ,  5F092BC13 ,  5F092BE27
引用特許:
審査官引用 (15件)
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