特許
J-GLOBAL ID:201503016698804269

マシンビジョン検査システム及び高速合焦高さ測定動作を実行する方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 稲葉 良幸 ,  大貫 敏史 ,  江口 昭彦 ,  内藤 和彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-122045
公開番号(公開出願番号):特開2015-001531
出願日: 2014年06月13日
公開日(公表日): 2015年01月05日
要約:
【課題】マシンビジョン検査システム及び高速合焦高さ測定動作を実行する方法を提供する。【解決手段】照明源と、撮像システムとを含むマシンビジョン検査システム並びに高速合焦高さ測定動作を実行する方法。本方法は、ワークピースをマシンビジョン検査システムの視野に配置することと、合焦高さ測定動作の関心領域を特定することと、照明源を動作させて、ワークピースをストロボ照明で照明する、動作させることと、ワークピースの近傍のZ高さ方向に沿った撮像システムの合焦位置を周期的に変調することと、画像スタックを収集することであって、画像スタックの各画像は、画像スタック内の適切なZ高さに対応する変調される合焦位置の位相に一致するストロボ照明のインスタンスに対応する、収集することと、関心領域の少なくとも一部分のZ高さ測定を特定することとを含む。【選択図】図2
請求項(抜粋):
照明源と、カメラシステムを含む撮像システムとを含む高速合焦高さ測定動作をマシンビジョン検査システムで実行する方法であって、 ワークピースを前記マシンビジョン検査システムの視野に配置することと、 前記合焦高さ測定動作の関心領域を特定することと、 前記照明源を動作させて、前記ワークピースをストロボ照明で照明することと、 前記ワークピースの近傍のZ高さ方向に沿った複数の位置にわたり、前記撮像システムの合焦位置を周期的に変調することと、 前記画像スタック内の各画像を、前記画像スタック内のZ高さに対応する、前記周期的に変調される合焦位置の位相タイミングと同期されたストロボ照明のインスタンスを使用して露光して、前記画像スタックを収集することと、 前記画像スタックを解析して、前記関心領域の少なくとも一部分の最良の合焦位置に対応するZ高さを特定することに基づいて、前記関心領域の前記少なくとも一部分のZ高さ測定を特定することと、 を含む、方法。
IPC (1件):
G01B 11/02
FI (1件):
G01B11/02 H
Fターム (36件):
2F065AA02 ,  2F065AA06 ,  2F065AA19 ,  2F065AA22 ,  2F065AA24 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065DD12 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065FF41 ,  2F065GG08 ,  2F065GG17 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065HH14 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL06 ,  2F065LL07 ,  2F065LL12 ,  2F065LL30 ,  2F065LL57 ,  2F065MM03 ,  2F065MM07 ,  2F065NN02 ,  2F065NN08 ,  2F065PP02 ,  2F065PP12 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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引用文献:
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