特許
J-GLOBAL ID：200903000479085744
表面高さ検出方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-071520
公開番号（公開出願番号）：特開2008-233088
出願日： 2008年03月19日
公開日（公表日）： 2008年10月02日
要約：
【課題】精密寸法計測を実行する汎用機械視覚検査システムにおいて、突然の表面高さの段差、予測不可能なワーク表面特性、広範囲にわたるワーク表面高さ測定にも対応できる表面高さ検出方法および装置を提供すること。【解決手段】 照明焦点センサである波面センサ160が視準調整素子130と組み合わせて用いられ、照明焦点の高さとワーク表面170の検出位置の高さと合致するように表面高さ・焦点センサ100を駆動する。これにより照明焦点センサからの出力はゼロとなる。ゼロ状態では視準調整量はワーク表面高さと直接関係し、その結果である高さ決定はワーク表面の光学特性に比較的影響されにくい。視準調整量は視準調整素子の制御信号によって決定される。視準調整センサが視準調整量を測定するのに用いることができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光源からのワーク照明ビームを、対物レンズを通してワーク表面の検出部位に照射することで、前記検出部位の前記対物レンズの光軸と略平行な検出方向に沿った位置を検出する表面高さ検出方法であって、
前記光源からの前記ワーク照明ビームに制御可能な視準を与え、
前記視準を有する前記ワーク照明ビームの光を前記対物レンズに入射させ、前記対物レンズから出射した前記ワーク照明ビームの光を、前記検出部位の近傍にある照明焦点に合焦させ、
合焦させた前記ワーク照明ビームの光を前記ワーク表面で反射させ、反射された前記ワーク照明ビームの光を前記対物レンズへ入射させ、前記対物レンズを通った光を焦点検出光線として照明焦点センサに入射させ、
前記照明焦点センサを操作して、前記照明焦点の前記検出方向の位置と前記検出部位の前記検出方向の位置との差に少なくとも部分的に依存する少なくとも一つの出力信号を出力させ、
前記照明焦点センサから、前記ワーク表面の前記検出部位の前記検出方向の位置と前記照明焦点の前記検出方向の位置とが略一致することを示す少なくとも一つの出力信号が得られるまで、前記ワーク照明ビームに与えられる前記視準を調整することにより、前記検出部位の前記検出方向の位置を検出することを特徴とする表面高さ検出方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (19件)：
2F065AA24
, 2F065EE00
, 2F065FF10
, 2F065GG08
, 2F065GG21
, 2F065HH04
, 2F065JJ03
, 2F065JJ18
, 2F065JJ23
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065LL10
, 2F065LL12
, 2F065LL21
, 2F065LL30
, 2F065LL46
, 2F065QQ01
, 2F065QQ17
, 2F065QQ28
出願人引用 (1件)
審査官引用 (12件)
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