圧電ウェハ及び圧電振動片

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田和秀
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-235325
公開番号（公開出願番号）：特開2015-095834
特許番号：特許第5804026号
出願日： 2013年11月13日
公開日（公表日）： 2015年05月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】圧電振動片と、前記圧電振動片を支持する枠部と、前記枠部と前記圧電振動片とを連結する連結部とを有し、前記連結部で、前記圧電振動片を前記枠部から折り取る圧電ウェハであって、前記連結部の表裏両面には、該連結部の幅方向に沿って延びる溝状のスリットが、前記幅方向の一部を除いてそれぞれ形成され、前記表裏両面の少なくともいずれか一方の面の、前記幅方向の前記一部を介して前記圧電振動片の電極が、前記枠部側へ引出され、前記溝状のスリットが、前記幅方向の前記一部を、挟むようにその両側に形成される、ことを特徴とする圧電ウェハ。

IPC (3件)：