特許
J-GLOBAL ID：201503018496448870

パターン形成方法、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、及び、レジスト膜、並びに、これらを用いた電子デバイスの製造方法、及び、電子デバイス

発明者：
滝沢 裕雄

滝沢 裕雄 について

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鶴田 拓也

鶴田 拓也 について

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土村 智孝

土村 智孝 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (3件)： 高松 猛 ,  尾澤 俊之 ,  長谷川 博道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-160616
公開番号（公開出願番号）：特開2015-031796
出願日： 2013年08月01日
公開日（公表日）： 2015年02月16日
要約：
【課題】本発明は、活性光線又は放射線性を使用する半導体素子の微細加工における性能向上技術の課題を解決することであり、超微細領域(例えば線幅50nm以下の領域)において、高感度、高解像性(高解像力など)、高いラフネス性能、膜べり低減性能、高い露光ラチチュード、及び、高いドライエッチング耐性を極めて高次元で同時に満足するパターン形成方法、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、及び、レジスト膜、並びに、これらを用いた電子デバイスの製造方法、及び、電子デバイスを提供する。【解決手段】(1)感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を用いて膜を形成することと、(2)前記膜を活性光線又は放射線で露光することと、(3)有機溶剤を含んだ現像液を用いて前記露光された膜を現像することと、を含んだパターン形成方法、これに供せられる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物及びレジスト膜、並びに、これらを用いた電子デバイスの製造方法、及び、電子デバイスであって、前記感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物が、芳香環を有する特定構造の繰り返し単位と、酸分解性基を有する特定構造の繰り返し単位と、架橋性基を有する特定構造の繰り返し単位とを有する樹脂を含有する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(1)感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を用いて膜を形成することと、 (2)前記膜を活性光線又は放射線で露光することと、 (3)有機溶剤を含んだ現像液を用いて前記露光された膜を現像することと、 を含んだパターン形成方法であって、 前記感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物が、(A)一般式(I)で表される繰り返し単位と、一般式(II)〜(IV)のいずれかで表される繰り返し単位と、一般式(V)で表される繰り返し単位とを有する樹脂を含有する、パターン形成方法。
IPC (4件)：
G03F 7/038 ,  G03F 7/039 ,  C08F 212/14 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G03F7/038 601 ,  G03F7/039 601 ,  C08F212/14 ,  H01L21/30 502R
Fターム (104件)：
2H125AC10 ,  2H125AE12P ,  2H125AE13P ,  2H125AE17P ,  2H125AE22P ,  2H125AF17P ,  2H125AF18P ,  2H125AF19P ,  2H125AF21P ,  2H125AF34P ,  2H125AF36P ,  2H125AF38P ,  2H125AF39P ,  2H125AF45P ,  2H125AF70P ,  2H125AH05 ,  2H125AH11 ,  2H125AH12 ,  2H125AH14 ,  2H125AH15 ,  2H125AH16 ,  2H125AH19 ,  2H125AH22 ,  2H125AJ04X ,  2H125AJ04Y ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ14Y ,  2H125AJ18Y ,  2H125AJ42Y ,  2H125AJ44Y ,  2H125AJ45X ,  2H125AJ45Y ,  2H125AJ48X ,  2H125AJ48Y ,  2H125AJ52X ,  2H125AJ63Y ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ64Y ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ65Y ,  2H125AJ68Y ,  2H125AL03 ,  2H125AM66P ,  2H125AM86P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN57P ,  2H125AN62P ,  2H125AN63P ,  2H125AN64P ,  2H125AN65P ,  2H125AN67P ,  2H125AN86P ,  2H125AN88P ,  2H125BA01P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125BA32P ,  2H125BA33P ,  2H125CA12 ,  2H125CB12 ,  2H125CB16 ,  2H125CC01 ,  2H125CC15 ,  2H125FA05 ,  4J100AB07P ,  4J100AB07Q ,  4J100AB07R ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL74R ,  4J100BA02Q ,  4J100BA02R ,  4J100BA02S ,  4J100BA03P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA03R ,  4J100BA04Q ,  4J100BA04R ,  4J100BA05Q ,  4J100BA05R ,  4J100BA07S ,  4J100BA11R ,  4J100BA55S ,  4J100BA56S ,  4J100BB07S ,  4J100BB12S ,  4J100BB18S ,  4J100BC03Q ,  4J100BC04Q ,  4J100BC09Q ,  4J100BC12Q ,  4J100BC43R ,  4J100BC43S ,  4J100BC53R ,  4J100BC54R ,  4J100BC73R ,  4J100BC75R ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100DA04 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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