特許
J-GLOBAL ID：201303020624691384

マイクロレンズアレイ露光機用組成物を用いた樹脂パターンの製造方法

発明者：
藤本 進二

藤本 進二 について

, 
中村 秀之

中村 秀之 について

, 
安藤 豪

安藤 豪 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-249931
公開番号（公開出願番号）：特開2013-140336
出願日： 2012年11月14日
公開日（公表日）： 2013年07月18日
要約：
【課題】感度および解像度に優れたマイクロレンズアレイ露光機用組成物を用いた樹脂パターンの製造方法。【解決手段】(1)(A)酸の作用によりアルカリ溶解性が増大する樹脂、(B)オキシムスルホネート系光酸発生剤、および(C)溶剤、を含有する組成物を基板上に塗布する工程、(2)塗布された前記組成物から前記溶剤を除去する工程、(3)マイクロレンズアレイ露光機で前記組成物に活性光線を照射し露光する工程、および(4)水性現像液で現像する工程、を含む樹脂パターンの製造方法。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
(1)(A)酸の作用によりアルカリ溶解性が増大する樹脂、(B)オキシムスルホネート系光酸発生剤、および(C)溶剤、を含有する組成物を基板上に塗布する工程、 (2)塗布された前記組成物から前記溶剤を除去する工程、 (3)マイクロレンズアレイ露光機で前記組成物に活性光線を照射し露光する工程、および (4)水性現像液で現像する工程、 を含む樹脂パターンの製造方法。
IPC (8件)：
G03F 7/039 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/20 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/22 ,  H05B 33/10 ,  C08F 20/26 ,  C08F 12/22
FI (9件)：
G03F7/039 601 ,  G03F7/004 503A ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/20 501 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/22 Z ,  H05B33/10 ,  C08F20/26 ,  C08F12/22
Fターム (66件)：
2H097AA03 ,  2H097LA17 ,  2H125AD15 ,  2H125AE06P ,  2H125AE13P ,  2H125AE15P ,  2H125AE18P ,  2H125AF03P ,  2H125AF05P ,  2H125AF17P ,  2H125AF38P ,  2H125AF52P ,  2H125AH05 ,  2H125AH06 ,  2H125AH07 ,  2H125AH13 ,  2H125AJ04X ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ14Y ,  2H125AJ48X ,  2H125AJ48Y ,  2H125AJ63X ,  2H125AJ63Y ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ64Y ,  2H125AJ70X ,  2H125AK13 ,  2H125AM26P ,  2H125AM27P ,  2H125AN29P ,  2H125AN31P ,  2H125AN39P ,  2H125AN82P ,  2H125AN86P ,  2H125AN88P ,  2H125BA05P ,  2H125BA11P ,  2H125BA26P ,  2H125BA32P ,  2H125CA11 ,  2H125CA24 ,  2H125CB05 ,  2H125CC13 ,  2H125CC15 ,  3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC35 ,  3K107CC45 ,  3K107DD90 ,  3K107DD97 ,  3K107GG28 ,  4J100AB07P ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100BA02Q ,  4J100BA03P ,  4J100BA06P ,  4J100BA06Q ,  4J100BA22Q ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100BC54Q ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100JA38
引用特許：
審査官引用 (12件)
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