特許
J-GLOBAL ID：201503019780859860

感放射線性樹脂組成物、レジストパターン形成方法、重合体、化合物及び化合物の製造方法

発明者：
生井 準人

生井 準人 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (7件)： 天野 一規 ,  池田 義典 ,  小川 博生 ,  石田 耕治 ,  各務 幸樹 ,  根木 義明 ,  藤中 賢一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-149316
公開番号（公開出願番号）：特開2015-043079
出願日： 2014年07月22日
公開日（公表日）： 2015年03月05日
要約：
【課題】LWR性能、解像性、断面形状の矩形性、焦点深度及び膜収縮抑制性に優れる感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】アセタール結合の部分構造からなる群より選ばれる少なくとも1種を含む構造単位を有する重合体、感放射線性酸発生体及び溶媒を含有する感放射線性樹脂組成物である。当該感放射線性樹脂組成物でレジスト膜を形成する工程、上記レジスト膜を露光する工程、及び上記露光されたレジスト膜を現像する工程を有するレジストパターン形成方法を含む。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
下記式(i)〜(v)で表される部分構造からなる群より選ばれる少なくとも1種を含む構造単位を有する重合体、 感放射線性酸発生体、及び 溶媒 を含有する感放射線性樹脂組成物。
IPC (2件)：
G03F 7/039 ,  C08F 220/26
FI (2件)：
G03F7/039 601 ,  C08F220/26
Fターム (51件)：
2H125AF17P ,  2H125AF38P ,  2H125AH04 ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH20 ,  2H125AH22 ,  2H125AH24 ,  2H125AJ12X ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ14Y ,  2H125AJ43Y ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ69X ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN54P ,  2H125BA01P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CB16 ,  2H125CC01 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  2H125FA05 ,  4J100AB07S ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100BA02P ,  4J100BA03P ,  4J100BA15P ,  4J100BA15R ,  4J100BA15S ,  4J100BA34P ,  4J100BB18S ,  4J100BC03Q ,  4J100BC04P ,  4J100BC07R ,  4J100BC09P ,  4J100BC52P ,  4J100CA03 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100DA61 ,  4J100JA38
引用特許：
審査官引用 (5件)
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