特許
J-GLOBAL ID：201503020924948609
照明装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
, 大貫 進介
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-506335
公開番号（公開出願番号）：特表2015-525135
出願日： 2013年04月12日
公開日（公表日）： 2015年09月03日
要約：
本発明は、オブジェクトをプロセスするためのプロセス照明を提供する照明装置に関する。光源のグループは、オブジェクトをプロセスするための照明を生成する。ここで、光源のグループは、プロセス照明を生成するためのイメージユニットによって、作業平面上に結像される。結果として生じる強度分布は、空間的な統合方向において強度分布が積分される場合に、結果として生じる強度分布が強度ディップを有するように、構成されている。ここで、光源のグループの一つ又は数個は、光源の他のグループから独立して、統合された強度分布を変更するためにコントロール可能である。これにより、プロセス装置において照明装置を使用することができる。オブジェクトがプロセス、特にシールされるプロセスラインに垂直に、オブジェクトは比較的均一にプロセスされる。これによって、オブジェクトをプロセスする品質が改善される。
請求項（抜粋）：
オブジェクトをプロセスするためのプロセス照明を提供する照明装置であって:
前記オブジェクトをプロセスするための照明を生成する光源のグループと、
前記オブジェクトがシールされるべき作業平面の上に前記光源のグループを結像させ、それにより前記プロセス照明を生成するイメージユニットと、を含み、
前記光源のグループと前記イメージユニットは、前記作業平面において、前記プロセス照明が輝度分布を伴って生成可能なように適合されており、
前記輝度分布は、空間的な統合方向において積分された場合に、結果として生じる統合された強度分布が強度ディップを有し、
前記統合された強度分布を変更するために、一つ又は数個の前記光源のグループが、他のグループとは独立してコントロール可能である、
照明装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (11件)：
4E168AE05
, 4E168CA11
, 4E168CB03
, 4E168DA02
, 4E168DA39
, 4E168EA13
, 4E168JA14
, 5F061AA03
, 5F061BA04
, 5F061CA26
, 5F061FA01
