特許

J-GLOBAL ID：201503022253582959

振動素子、振動子、電子機器および移動体

発明者： 小倉 誠一郎 ,  山口 啓一 ,  大澤 征司 ,  菊池 尊行
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-223560
公開番号（公開出願番号）：特開2015-087126
出願日： 2013年10月28日
公開日（公表日）： 2015年05月07日
要約：

【課題】機械的強度(耐衝撃性)に優れる振動素子、振動子、電子機器および移動体を提供すること。【解決手段】振動素子1は、振動部20と、振動部20を支持する第1、第2支持部251、252と、振動部20と第1、第2支持部251、252とを連結する梁261〜264とを有し、梁261〜264は、Y軸方向に往復しつつX軸方向に向かう第1屈曲部261A〜264Aと、X軸方向に往復しつつY軸方向に向かう第2屈曲部261B〜264Bとを有している。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

振動部と、 前記振動部を支持する支持部と、 前記振動部と前記支持部とを連結する梁と、を有し、 前記梁は、 第1軸に沿って往復し第2軸に沿った方向に向かって延在している第1屈曲部と、 前記第2軸に沿って往復し前記第1軸に沿った方向に向かって延在している第2屈曲部と、を有することを特徴とする振動素子。

IPC (5件)：

G01C 19/562 ,  H01L 41/047 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/113 ,  H01L 41/053

FI (5件)：

G01C19/56 128 ,  H01L41/047 ,  H01L41/09 ,  H01L41/113 ,  H01L41/053

Fターム (11件)：

2F105AA02 ,  2F105AA03 ,  2F105AA06 ,  2F105AA08 ,  2F105BB03 ,  2F105BB12 ,  2F105BB13 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 振動片、振動デバイス、物理量検出装置、および電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-046266   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 振動ジャイロ素子、振動ジャイロセンサーおよび電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-178377   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 共振子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-220950   出願人：日本電波工業株式会社
• 慣性センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-099250   出願人：富士通メディアデバイス株式会社, 富士通株式会社