特許
J-GLOBAL ID：201503023311808233

感放射線性樹脂組成物及びレジストパターン形成方法

発明者：
宮田 拡

宮田 拡 について

, 
生井 準人

生井 準人 について

, 
堀 雅史

堀 雅史 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (7件)： 天野 一規 ,  池田 義典 ,  小川 博生 ,  石田 耕治 ,  各務 幸樹 ,  根木 義明 ,  藤中 賢一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-187118
公開番号（公開出願番号）：特開2015-092231
出願日： 2014年09月12日
公開日（公表日）： 2015年05月14日
要約：
【課題】保存安定性及び現像欠陥抑制性に優れると共に、LWR性能、CDU性能、解像性、断面形状の矩形性、焦点深度及びMEEF性能にも優れる感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】下記式(1)で表される構造を有する化合物、フッ素原子を含む第1重合体及び溶媒を含有する感放射線性樹脂組成物である。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
下記式(1)で表される構造を有する化合物、 フッ素原子を含む第1重合体、及び 溶媒 を含有する感放射線性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/039 ,  C08F 220/22 ,  C08F 220/18 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
G03F7/004 501 ,  G03F7/039 601 ,  C08F220/22 ,  C08F220/18 ,  H01L21/30 502R
Fターム (63件)：
2H125AF17P ,  2H125AF18P ,  2H125AF27P ,  2H125AF38P ,  2H125AF41P ,  2H125AF45P ,  2H125AF70P ,  2H125AH14 ,  2H125AH15 ,  2H125AH19 ,  2H125AH20 ,  2H125AH23 ,  2H125AH24 ,  2H125AH29 ,  2H125AJ12X ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ52X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ68X ,  2H125AJ69X ,  2H125AL02 ,  2H125AL03 ,  2H125AL11 ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN54P ,  2H125AN88P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  4H006AA01 ,  4H006AA03 ,  4H006AB48 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100BA03P ,  4J100BA11P ,  4J100BA11Q ,  4J100BA15P ,  4J100BA20P ,  4J100BB11P ,  4J100BB18P ,  4J100BC03Q ,  4J100BC04Q ,  4J100BC09Q ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100BC58Q ,  4J100BC84P ,  4J100CA04 ,  4J100DA01 ,  4J100DA04 ,  4J100FA03 ,  4J100FA19 ,  4J100GC07 ,  4J100GC25 ,  4J100JA37 ,  4J100JA38
引用特許：
審査官引用 (5件)
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