特許
J-GLOBAL ID：201503047634208576
半導体装置の試験プログラム、試験装置及び試験方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 毅巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-132606
公開番号（公開出願番号）：特開2015-007569
出願日： 2013年06月25日
公開日（公表日）： 2015年01月15日
要約：
【課題】試験の工数、コストの増大を抑えて、半導体装置を精度良く合否判定する。【解決手段】室温等の所定環境下に置かれた半導体装置を、第1出力を期待値とする第1試験条件で動作させ(ステップS101,102)、その所定環境下に置かれた半導体装置を、第1出力とは異なる第2出力であって、期待値とはならないアドレス及びピンの情報を含む不良パタン情報を出力する第2試験条件で動作させ(ステップS103)、第1試験条件及び第2試験条件での動作結果に基づき、半導体装置の合否を判定する(ステップS104〜S112)。【選択図】図13
請求項（抜粋）：
コンピュータに、
第1環境下の半導体装置を、第1出力を期待値とする第1条件で動作させ、
前記第1環境下の前記半導体装置を、前記第1出力とは異なる第2出力を出力する第2条件で動作させ、
前記第1条件での動作で前記第1出力が出力され、且つ、前記第2条件での動作で出力される前記第2出力が基準を満たす前記半導体装置を、合格と判定する
処理を実行させることを特徴とする半導体装置の試験プログラム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R31/28 H
, H01L21/66 H
2G132AA00
, 2G132AB01
, 2G132AB06
, 2G132AB07
, 2G132AB14
, 2G132AE16
, 2G132AE18
, 2G132AE23
, 2G132AF02
, 2G132AG01
, 2G132AH00
, 2G132AL09
, 4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106BA01
, 4M106DD03
, 4M106DH46
, 4M106DJ14
, 4M106DJ20
, 4M106DJ27
