特許
J-GLOBAL ID：201503051220485702

回折環分析方法および回折環分析装置

発明者：
宮崎 利行

宮崎 利行 について

, 
佐々木 敏彦

佐々木 敏彦 について


出願人/特許権者：
国立大学法人金沢大学

国立大学法人金沢大学 について


代理人 (1件)： 新居 広守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-213211
公開番号（公開出願番号）：特開2015-099145
出願日： 2014年10月17日
公開日（公表日）： 2015年05月28日
要約：
【課題】回折環に欠落がある場合であっても回折環を分析しかつ精度を向上させる回折環分析方法を提供する。【解決手段】回折する性質をもつビームを計測対象物の特定部分に照射し、この特定部分から反射される回折ビームにより形成される回折環の中心角αをパラメーターとするひずみを測定し(S21、S22)、この測定結果をフーリエ変換し(S23)、このフーリエ変換の結果から、前記特定部分の応力又はひずみの少なくとも一方を算出する(S24)。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
回折する性質をもつビームを計測対象物の特定部分に照射し、 前記特定部分から反射される回折ビームにより形成される回折環の変形を測定し、 測定結果を、フーリエ級数又は同等の直交級数に変換するフーリエ変換を行うことにより回折環を分析する 回折環分析方法。
IPC (1件)：
G01N 23/205
FI (1件)：
G01N23/205
Fターム (10件)：
2G001AA01 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001DA08 ,  2G001DA09 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001GA13 ,  2G001HA07 ,  2G001KA07
引用特許：
審査官引用 (4件)
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