特許
J-GLOBAL ID：201503078102923512

回折環計測装置

発明者：
佐々木 敏彦

佐々木 敏彦 について

, 
宮崎 利行

宮崎 利行 について


出願人/特許権者：
国立大学法人金沢大学

国立大学法人金沢大学 について


代理人 (1件)： 新居 広守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-216799
公開番号（公開出願番号）：特開2015-078934
出願日： 2013年10月17日
公開日（公表日）： 2015年04月23日
要約：
【課題】回折環の撮像から解析までをリアルタイムに行う回折環計測装置を提供する。【解決手段】回折により発生する回折環を計測する回折環計測装置10は、計測対象物にビームを照射するX線照射部14と、計測対象物からの回折ビームにより形成される回折環を撮像する撮像部15と、撮像部により撮像された回折環を表す回折環画像を生成する画像処理部16と、画像処理部により生成された回折環画像を解析するデータ処理部17とを備え、撮像部15は、(a)ビームが通過する貫通孔を中央部に有し、回折環を撮像する第1の固体撮像素子、および、(b)回折環の互いに異なる部分を撮像する複数の第2の固体撮像素子の何れか一方を有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
回折により発生する回折環を計測する回折環計測装置であって、 計測対象物に回折する性質をもつビームを照射する照射部と、 前記計測対象物からの回折ビームにより形成される前記回折環を撮像する撮像部と、 前記撮像部により撮像された回折環を表す回折環画像を生成する画像処理部と、 前記画像処理部により生成された前記回折環画像を解析するデータ処理部と を備え、 前記撮像部は、 (a)前記ビームが通過する貫通孔を中央部に有し、前記回折環を撮像する第1の固体撮像素子、および、 (b)前記回折環の互いに異なる部分を撮像する複数の第2の固体撮像素子 の何れか一方を有する回折環計測装置。
IPC (1件)：
G01N 23/20
FI (1件)：
G01N23/20
Fターム (9件)：
2G001AA01 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001DA06 ,  2G001DA08 ,  2G001DA09 ,  2G001GA06 ,  2G001HA07 ,  2G001KA07
引用特許：
審査官引用 (5件)
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