特許
J-GLOBAL ID：201503055462642298

振動子、振動子の製造方法、電子デバイス、電子機器および移動体

発明者：
瀧澤 照夫

瀧澤 照夫 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (2件)： 上柳 雅誉 ,  渡辺 和昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-218097
公開番号（公開出願番号）：特開2015-081774
出願日： 2013年10月21日
公開日（公表日）： 2015年04月27日
要約：
【課題】振動素子を安定して動作させるためにキャビティー内を脱気するための貫通孔を封止する際に、封止材の飛散、拡散を振動素子に付着させない物理量検出の振動子を得ることを目的とする。【解決手段】基体と、蓋体と、前記基体と、前記蓋体と、により構成されるキャビティー内に収納される機能素子と、を備え、前記蓋体には、前記蓋体を貫通する封止孔と、前記封止孔を気密封止する封止部材と、を備え、前記機能素子および前記蓋体の平面視において、前記蓋体の前記キャビティー側の面における前記封止孔の第1開口の領域の少なくとも一部と重なる受容開口の領域を備える拡散物遮蔽部が、前記機能素子に備えられている振動子。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基体と、 蓋体と、 前記基体と、前記蓋体と、により構成されるキャビティー内に収納される機能素子と、を備え、 前記蓋体には、前記蓋体を貫通する封止孔と、前記封止孔を気密封止する封止部材と、を備え、 前記機能素子および前記蓋体の平面視において、前記蓋体の前記キャビティー側の面における前記封止孔の第1開口の領域の少なくとも一部と重なる受容開口の領域を備える拡散物遮蔽部が、前記機能素子に備えられている、 ことを特徴とする振動子。
IPC (8件)：
G01C 19/576 ,  H01L 23/02 ,  G01C 19/574 ,  G01P 15/08 ,  G01P 15/125 ,  H01L 29/84 ,  B81B 3/00 ,  B81C 3/00
FI (9件)：
G01C19/56 269 ,  H01L23/02 G ,  H01L23/02 J ,  G01C19/56 247 ,  G01P15/08 P ,  G01P15/125 Z ,  H01L29/84 Z ,  B81B3/00 ,  B81C3/00
Fターム (40件)：
2F105AA02 ,  2F105AA03 ,  2F105AA06 ,  2F105AA08 ,  2F105BB02 ,  2F105BB04 ,  2F105BB14 ,  2F105BB15 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  3C081AA03 ,  3C081AA18 ,  3C081BA03 ,  3C081BA04 ,  3C081BA06 ,  3C081BA22 ,  3C081BA30 ,  3C081BA44 ,  3C081BA48 ,  3C081BA53 ,  3C081CA05 ,  3C081CA17 ,  3C081CA33 ,  3C081DA03 ,  3C081DA06 ,  3C081DA41 ,  3C081EA02 ,  3C081EA22 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA31 ,  4M112DA04 ,  4M112EA03 ,  4M112EA10 ,  4M112FA20 ,  4M112GA01
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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