触覚センサユニット

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：伊藤進
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-232949
公開番号（公開出願番号）：特開2012-088084
特許番号：特許第5647481号
出願日： 2010年10月15日
公開日（公表日）： 2012年05月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】変形を検出するピエゾ抵抗層が形成されたカンチレバーを有する半導体基板と、前記カンチレバーを内部に埋め込んだ弾性体と、前記ピエゾ抵抗層と接続された接続用電極と、を有するセンサチップと、接続パッドと、前記接続パッドと接続された配線層と、前記センサチップの弾性体を挿通可能で、前記弾性体の過度の変形を防止する安全機能を有する貫通部が形成された配線板と、を具備し、前記接続用電極と前記接続パッドとを介して、前記センサチップが前記配線板にフリップチップ実装されており、前記貫通部に挿通された、前記配線板の板厚よりも厚さが厚い前記弾性体の表面が、前記配線板の表面から突出していることを特徴とする触覚センサユニット。

IPC (2件)：