特許
J-GLOBAL ID：201503088162016404
露光装置用のGUI装置、露光システム、露光条件設定方法およびプログラム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
吉竹 英俊
, 有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-199227
公開番号（公開出願番号）：特開2015-065360
出願日： 2013年09月26日
公開日（公表日）： 2015年04月09日
要約：
【課題】 円形状の基板上にマトリックス状に配置されたブロックを操作性良く選択することができて、露光条件を設定することができる露光装置用のGUI装置、露光システム、露光条件設定方法およびプログラムを提供する。【解決手段】 操作者が操作部により、GUI装置の選択入力領域210に所望の情報を入力すると、基板外形202と複数のブロック203を含む初期画面上に、基板外形202と同心円状に選択円204が表示されるとともに、露光条件を設定すべき複数の選択ブロック206からなる選択領域205が強調して表示される。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
円形状の基板の表面に形成されたフォトレジスト膜に対してブロック単位で露光処理を施す露光装置用のGUI装置であって、
画面を有する表示部と、
表示部の画面を操作する操作部と、
表示部の画面表示を制御する表示制御部と、
を備え、
表示制御部は、
基板外形および基板内を区画する複数のブロックを含む選択表示領域、および、選択円に関する選択情報を入力するための選択入力領域を有する初期画面を表示部の画面に表示する初期画面表示部と、
前記選択情報に基づいて基板外形と同心円状に選択円を表示部の画面に表示する選択円表示部と、
前記選択情報に基づいて選択された選択ブロックを表示部の画面に強調して表示する選択ブロック表示部と、
選択ブロックに露光処理を施す際の露光条件を入力するための露光条件入力領域を表示部の画面に表示する露光条件入力表示部と、
を備えることを特徴とする露光装置用のGUI装置。
IPC (1件)：
FI (3件)：
H01L21/30 529
, H01L21/30 516Z
, H01L21/30 516D
5F146BA07
, 5F146CC14
, 5F146DA02
, 5F146DD01
