特許
J-GLOBAL ID:201303077606867485

直接描画装置用の画像表示装置、およびプログラム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-217064
公開番号(公開出願番号):特開2013-077717
出願日: 2011年09月30日
公開日(公表日): 2013年04月25日
要約:
【課題】RIPパラメータを設定する都度、当該RIPパラメータに基づくRIP展開によって生成された図形の描画に供される画像データを、描画処理の実行前に、容易に確認できる技術を提供することを目的とする。【解決手段】画像処理装置2は、設計データD0が表す所定の処理領域RTを設定する処理領域設定部25と、指定パラメータPa1用いて、処理領域RTの表示倍率に応じた解像度で、処理領域に対応する設計データD0をRIP展開する表示用RIP展開部26とを備える。表示用RIP展開部26におけるRIP展開は、直接描画のための描画用RIP展開よりもデータ処理量を抑制した表示用RIP展開であることを特徴とする。【選択図】図4
請求項(抜粋):
描画ビームの走査によって所定のパターンを描画対象物に直接描画する直接描画装置用の画像表示装置であって、 前記パターンを記述したベクトル形式の設計データを取得する取得部と、 前記設計データのRIP展開に使用される指定パラメータを設定する指定パラメータ設定部と、 RIP展開される前記設計データの処理領域を設定する処理領域設定部と、 前記指定パラメータを用いて、前記設計データのうち前記処理領域に対応する部分をRIP展開して指定画像を得る表示用RIP展開部と、 前記指定画像を可視的に表示する表示部と、 を備え、 前記表示用RIP展開部におけるRIP展開は、前記直接描画のための描画用RIP展開よりもデータ処理量を抑制した表示用RIP展開であることを特徴とする直接描画装置用の画像表示装置。
IPC (2件):
H01L 21/027 ,  G03F 7/20
FI (2件):
H01L21/30 529 ,  G03F7/20 505
Fターム (8件):
2H097AA03 ,  2H097CA17 ,  2H097GB04 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  5F146AA28 ,  5F146BA07 ,  5F146CB34
引用特許:
審査官引用 (12件)
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