特許
J-GLOBAL ID:201303081163082088
直接描画装置用の画像表示装置、およびプログラム
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
吉竹 英俊
, 有田 貴弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-217065
公開番号(公開出願番号):特開2013-077718
出願日: 2011年09月30日
公開日(公表日): 2013年04月25日
要約:
【課題】描画処理の実行前に、互いに異なる2つのRIPパラメータ各々に基づくRIP展開によって生成された、図形の描画に供される2つの画像データの差分を見落とすことなく速やかに確認できる技術を提供する。【解決手段】画像処理装置2は、設計データD0が表す所定の処理領域を設定する処理領域設定部25と、指定パラメータPa1と基準パラメータPa2とのそれぞれを用いて、処理領域の表示倍率に応じた解像度で、処理領域に対応する設計データD0をRIP展開する表示用RIP展開部26とを備える。指定パラメータPa1に基づくRIP展開によって得られた指定画像D21と、基準パラメータPa2に基づくRIP展開によって得られた基準画像D22との差分Sが抽出され、その差分Sを視覚的に強調した態様で処理領域表示画面81に指定画像D21と基準画像D22とが表示される。【選択図】図4
請求項(抜粋):
描画ビームの走査によって所定のパターンを描画対象物に直接描画する直接描画装置用の画像表示装置であって、
前記パターンを記述したベクトル形式の設計データを取得する取得部と、
前記設計データのRIP展開に使用される指定パラメータを設定する指定パラメータ設定部と、
RIP展開される前記設計データの処理領域を設定する処理領域設定部と、
前記指定パラメータと所定の基準パラメータとを用いて、前記設計データのうち前記処理領域に対応する部分をそれぞれRIP展開して、指定画像と基準画像とを得る表示用RIP展開部と、
前記指定画像と前記基準画像とを重ね合わせて可視的に表示する表示部と、
を備え、
前記表示用RIP展開部におけるRIP展開は、前記直接描画のための描画用RIP展開よりもデータ処理量を抑制した表示用RIP展開であり、かつ
前記表示部は、前記指定画像と前記基準画像との差分を、前記指定画像と前記基準画像との共通部分とは視覚的に区別可能に表示させること、
を特徴とする直接描画装置用の画像表示装置。
IPC (3件):
H01L 21/027
, H05K 3/00
, G03F 7/20
FI (4件):
H01L21/30 529
, H05K3/00 H
, G03F7/20 505
, H01L21/30 541J
Fターム (13件):
2H097AA03
, 2H097CA17
, 2H097GB04
, 2H097LA10
, 2H097LA11
, 5F056AA12
, 5F056CA02
, 5F056CA11
, 5F146BA06
, 5F146BA07
, 5F146CA03
, 5F146CA04
, 5F146CB33
引用特許:
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