パージ装置及びパージ方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：塩入明 , 塩入みか
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-211253
公開番号（公開出願番号）：特開2015-076480
出願日： 2013年10月08日
公開日（公表日）： 2015年04月20日
要約：

【課題】パージガスの昇温を許容範囲内に抑制する。【構成】配管を流れるパージガスの流量を流量制御装置により制御すると共に、流量制御装置からの熱を放熱部材により放熱し、パージガスの昇温を抑制する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

配管からパージガスを供給するパージ装置において、前記配管を流れるパージガスの流量を制御する流量制御装置と、前記流量制御装置で発生した熱を放熱する放熱部材、とを有することを特徴とする、パージ装置。

IPC (1件)：

H01L 21/673

FI (1件)：

H01L21/68 T

Fターム (11件)：

5F131AA02 , 5F131CA02 , 5F131GA14 , 5F131GB02 , 5F131GB14 , 5F131GB29 , 5F131JA05 , 5F131JA14 , 5F131JA24 , 5F131JA40 , 5F131KA25

引用特許：

審査官引用 (5件)

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