藤野真久

Fujino Masahisa

所属機関・部署：
職名： Senior Scientist

研究分野 (1件)：電子デバイス、電子機器

競争的資金等の研究課題 (3件)：

論文 (92件)：

Masahisa Fujino, Kenji Takahashi, Katsuya Kikuchi, Tetsuya Ueda, Noboru Miyata, Tsukasa Miyazaki. Interfacial analysis of bonded SiCn interfaces by neutron reflectometry. 2021 7th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration, LTB-3D 2021. 2021. 10
Yuta Takahashi, Masahisa Fujino, Takashi Matsumae, Hiroshi Nakagawa, Katsuya Kikuchi, Tohru Taino. Surface activated bonding of Nb-Nb for surperconducting device interconnect. 2021 International Conference on Electronics Packaging, ICEP 2021. 2021. 21-22
Kazutaka Sueshige, Masahisa Fujino, Tadatomo Suga, Masaaki Ichiki. Transfer of ferroelectric thin film capacitor using internal stress of plated film. IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines. 2021. 141. 2. 39-43
Masahisa Fujino, Kenji Takahashi, Katsuya Kikuchi. Wafer-level hybrid bonding for Cu/Interlayer-dielectric bonding. Proceedings of 2019 6th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration, LTB-3D 2019. 2019. 44
Pei Wen Chou, Jenn Ming Song, Zong Yu Xie, Masatake Akaike, Tadatomo Suga, Masahisa Fujino, Jing Yuan Lin. Low temperature de-oxidation for copper surface by catalyzed formic acid vapor. Applied Surface Science. 2018. 456. 890-898

MISC (8件)：

学位 (1件)：

経歴 (6件)：

2024/09 - 現在 Agency for Science, Technology and Research (A*STAR) Institute of Microelectronics (IME) Senior Scientist
2023/10 - 2024/08 国立研究開発法人産業技術総合研究所先端半導体研究センター 3D集積技術研究チーム主任研究員
2020/04 - 2023/09 国立研究開発法人産業技術総合研究所デバイス技術研究部門 3D集積システムグループ主任研究員
2017/10 - 2020/03 国立研究開発法人産業技術総合研究所ナノエレクトロニクス研究部門 3D集積システムグループ主任研究員
2007/12 - 2017/09 東京大学大学院工学系研究科精密工学専攻助教

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藤野 真久