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J-GLOBAL ID：201602219239185141   整理番号：16A0251859

可動MEMSスパイラル構造による偏光変調デバイス

著者 (9件)： 菅哲朗 (東大) ,  磯崎瑛宏 (東大) ,  根本夏紀 (東大) ,  小西邦昭 (東大) ,  高橋英俊 (東大) ,  五神真 (東大) ,  松本潔 (東大) ,  下山勲 (東大) ,  神田夏輝 (理研)
資料名： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
巻： 32nd  ページ： ROMBUNNO.29PM3-PS-135  発行年： 2015年10月21日 
JST資料番号： X0768B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *MEMS ,  螺旋 ,  *光変調 ,  テラヘルツ波 ,  円偏光 ,  光偏向 ,  偏向器 ,  *光偏向器 ,  *偏光変調
準シソーラス用語： *MEMSデバイス ,  スパイラル ,  テラヘルツ光

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  偏光測定と偏光計  (BD07050K)

タイトルに関連する用語 (3件)： MEMS ,  スパイラル ,  偏光変調