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J-GLOBAL ID：201602267344122756   整理番号：16A1280186

XYZマイクロステージに関する研究-ステージ基礎特性の評価-

著者 (7件)： 清水裕樹 (東北大) ,  菅原拓馬 (東北大 大学院工学研究科) ,  安達圭祐 (東北大 大学院工学研究科) ,  伊東聡 (東北大) ,  GAO Wei (東北大) ,  丹羽英二 (電磁材料研) ,  佐々木祥弘 (電磁材料研)
資料名： 日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会年次大会(CD-ROM))
巻： 2016  ページ： ROMBUNNO.S1330304  発行年： 2016年09月10日 
JST資料番号： X0587C  ISSN： 2424-2667  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 幅広い分野において精密位置決め装置の需要が高まっており,限られた微小な領域内での多自由度駆動,長ストローク駆動,高い位置決め分解能の実現が求められている。圧電素子をアクチュエータに用いた小型ステージの研究が多くなされているが,mmオーダの長ストロークを実現した小型ステージの研究は少ない。そこで本研究では,Friction drive駆動と呼ばれる摩擦を利用した駆動方法の摩擦部材に永久磁石を組み合わせ,小型かつ長ストロークを可能とするXYZマイクロステージを開発した。(著者抄録)

シソーラス用語： *位置決め装置 ,  *圧電素子 ,  アクチュエータ ,  *永久磁石 ,  *高分解能 ,  分解能 ,  *自由度 ,  *長さ ,  舞台 ,  *摩擦 ,  多自由度 ,  X-Yステージ ,  行程【長さ】
準シソーラス用語： ストローク【長さ】 ,  ステージ

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  運動機構  (QB01080K)

タイトルに関連する用語 (5件)： マイクロ ,  ステージ ,  研究 ,  基礎 ,  評価