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J-GLOBAL ID：201602277253871573   整理番号：16A0607653

2つの回転電場を用いた質量分析計の開発

Development of a mass spectrometer using two rotating electric fields

著者 (8件)： Nojima Masashi (Research Institute for Science and Technology, Tokyo University of Science, 2641 Yamazaki, Noda, Chiba 278-8510, Japan) ,  Anai Yuki (Graduate School of Science and Technology, Tokyo University of Science, 2641 Yamazaki, Noda, Chiba 278-8510, Japan) ,  Hotta Masanao (Office TANDEM L.L.C., 2-16-8 Nishimachi, Kokubunji, Tokyo 185-0035, Japan) ,  Kurumi Satoshi (College of Science and Technology, Nihon University, 1-8-14 Kanda-Surugadai, Chiyoda-ku, Tokyo 101-8308, Japan) ,  Suzuki Kaoru (College of Science and Technology, Nihon University, 1-8-14 Kanda-Surugadai, Chiyoda-ku, Tokyo 101-8308, Japan) ,  Adachi Tatsuya (Ampere, Inc., Saito Bldg., 7-5-3 Nishi-Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 160-0023, Japan) ,  Kusanagi Takashi (Ampere, Inc., Saito Bldg., 7-5-3 Nishi-Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 160-0023, Japan) ,  Moritani Kosuke (Graduate School of Engineering, University of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo 671-2201, Japan)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 34  号： 3  ページ： 03H132-03H132-4  発行年： 2016年05月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 一対の回転電場(REF)を含む質量分析計の新しい原理を提案した。その構造は,電子,イオン光学系,及び動作原理の観点から検討した。質量によりイオンを分離するためREFを使うことを,REFの光学系の中へGa集束イオンビームカラムを直接導入することによって実証した。システムの位相コントラストを最適化すると,⁶⁹Ga⁺イオンは中心軸に収束し,⁷¹Ga⁺は環状パターンを形成した。環状パターンの非対称性は,各REF電極の交流電圧の不均一性に起因する。周波数を変化すると,⁶⁹Ga⁺と⁷¹Ga⁺の突起の位置は,中心と外側との間で交換できる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *質量分析計 ,  電場 ,  電子光学 ,  イオン光学 ,  ガリウム ,  集束イオンビーム ,  ガリウム同位体 ,  イオン源
準シソーラス用語： ガリウム69 ,  ガリウム71 ,  液体金属イオン源 ,  *回転電場

分類 (1件)： 質量分析計  (BD02060M)

タイトルに関連する用語 (3件)： 回転電場 ,  質量分析計 ,  開発