硬質被膜、切削工具および硬質被膜の製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-005297
公開番号（公開出願番号）：特開2016-130344
出願日： 2015年01月14日
公開日（公表日）： 2016年07月21日
要約：

【課題】長寿命の切削工具を作製することが可能な硬質被膜、切削工具および硬質被膜の製造方法を提供する。【解決手段】2つの第1結晶相と、2つの第1結晶相の間に配置された第2結晶相とを含み、2つの第1結晶相は、それぞれ独立に、塩化ナトリウム型の結晶構造を有するTi1-x1Alx1N相と閃亜鉛鉱型の結晶構造を有するAlx2Ti1-x2N相とが交互に積層された構造を含み、Ti1-x1Alx1N相のAl組成比x1は、0.1≦x1≦0.7の関係を満たし、Alx2Ti1-x2N相のAl組成比x2は、0.7<x2≦0.95の関係を満たし、第2結晶相は、ウルツ鉱型の結晶構造を有するAlNを含む硬質被膜である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

2つの第1結晶相と、前記2つの第1結晶相の間に配置された第2結晶相と、を含み、前記2つの第1結晶相は、それぞれ独立に、塩化ナトリウム型の結晶構造を有するTi1-x1Alx1N相と閃亜鉛鉱型の結晶構造を有するAlx2Ti1-x2N相とが交互に積層された構造を含み、前記Ti1-x1Alx1N相のAl組成比x1は、0.1≦x1≦0.7の関係を満たし、前記Alx2Ti1-x2N相のAl組成比x2は、0.7<x2≦0.95の関係を満たし、前記第2結晶相は、ウルツ鉱型の結晶構造を有するAlNを含む、硬質被膜。

IPC (7件)：

C23C 16/34 , B23B 27/14 , B23B 51/00 , B23C 5/16 , B23F 21/12 , B23G 5/06 , B23D 77/00

FI (7件)：

C23C16/34 , B23B27/14 A , B23B51/00 J , B23C5/16 , B23F21/12 , B23G5/06 C , B23D77/00

Fターム (22件)：

3C037CC01 , 3C046FF10 , 3C046FF13 , 3C050EC02 , 4K030AA03 , 4K030AA13 , 4K030BA02 , 4K030BA18 , 4K030BA38 , 4K030BB01 , 4K030BB12 , 4K030CA03 , 4K030CA17 , 4K030FA10 , 4K030JA01 , 4K030JA06 , 4K030JA10 , 4K030JA11 , 4K030JA12 , 4K030KA26 , 4K030LA01 , 4K030LA22

引用特許：

審査官引用 (5件)

超薄膜積層体
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-244178 出願人：住友電気工業株式会社
耐摩耗性皮膜被覆部材
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-306213 出願人：株式会社神戸製鋼所
硬質皮膜、硬質皮膜形成用ターゲット、および硬質皮膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-310339 出願人：株式会社神戸製鋼所

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