特許
J-GLOBAL ID:201603000425163125

測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 森下 賢樹 ,  村田 雄祐 ,  三木 友由 ,  真家 大樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-242020
公開番号(公開出願番号):特開2016-102747
出願日: 2014年11月28日
公開日(公表日): 2016年06月02日
要約:
【課題】少ない付加回路で、コンタクトの良否や破断の良否、被試験デバイスの状態等を判定する。【解決手段】トランスインピーダンスアンプ110は電流信号IDUTを電圧信号VOUTに変換する。電圧発生器120cは、基準抵抗126および電圧源122を含む。測定装置100は、(iii)基準抵抗126を介さずに、第2端子P2に既知の電圧信号を印加する第1モードと、(iv)基準抵抗126を介して、第2端子に既知の電圧信号を印加し、コンタクトをチェックする第2モードと、(v)基準抵抗を介してまたは介さずに、前記第2端子に既知の交流成分を含む電圧信号を印加する第3モードと、が切りかえ可能に構成される。【選択図】図5
請求項(抜粋):
被試験デバイスが接続される第1端子および第2端子と、 その入力端子が前記第1端子と接続され、電流信号を電圧信号に変換するトランスインピーダンスアンプと、 基準抵抗および電圧源を含む電圧発生器と、 を備え、 (i)前記被試験デバイスが発生する電流を測定するモードと、(ii)前記基準抵抗を介して、前記トランスインピーダンスアンプの入力端子に既知の電圧信号を印加し、前記トランスインピーダンスアンプを校正するモードと、(iii)前記基準抵抗を介さずに、前記第2端子に既知の電圧信号を印加する第1モードと、(iv)前記基準抵抗を介して、前記第2端子に既知の電圧信号を印加する第2モードと、(v)前記基準抵抗を介してまたは介さずに、前記第2端子に既知の交流成分を含む電圧信号を印加する第3モードと、が切りかえ可能に構成されることを特徴とする測定装置。
IPC (1件):
G01N 27/00
FI (1件):
G01N27/00 Z
Fターム (6件):
2G060AA15 ,  2G060AD06 ,  2G060AF01 ,  2G060AG11 ,  2G060HC10 ,  2G060HC13
引用特許:
審査官引用 (6件)
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