特許
J-GLOBAL ID：201603000865869380

ステージ機構

発明者：
小川 洋一郎

小川 洋一郎 について

, 
山本 明広

山本 明広 について

, 
中村 泰敏

中村 泰敏 について

, 
松村 徹

松村 徹 について


出願人/特許権者：
ローランドディー.ジー.株式会社

ローランドディー.ジー.株式会社 について


代理人 (3件)： 後藤 高志 ,  山根 広昭 ,  古市 昭博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-046877
公開番号（公開出願番号）：特開2016-165778
出願日： 2015年03月10日
公開日（公表日）： 2016年09月15日
要約：
【課題】ステージの正確な位置および姿勢を確実に特定することが可能なステージ機構をシンプルな構造で実現することである。【解決手段】ステージ機構30は、ベース40と、相互に異なる複数のマーカー56A〜56Pが設けられ、ベース40に移動自在に支持されたステージ50と、ステージ50を駆動するステージ移動装置60と、ステージ50の上方に設けられ、ステージ50を撮影するカメラ70A〜70Cと、撮影されたステージ50の画像からマーカー56A〜56Pを検出し、検出されたマーカー56A〜56Pに基づいて、ステージ50の位置および姿勢を特定するマイクロコンピュータ75と、を備え、カメラ70A〜70Cからステージ50を見たときに、マーカー56A〜56Pの位置は、ステージ50の位置および姿勢によって異なる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ベースと、 相互に異なる複数のマーカーが設けられ、前記ベースに移動自在に支持されたステージと、 前記ステージを駆動するステージ移動装置と、 前記ステージの上方に設けられ、前記ステージを撮影する少なくとも2つの撮影装置と、 前記各撮影装置によって撮影された前記ステージの画像から前記各マーカーを検出し、前記検出された各マーカーに基づいて、前記ステージの位置および姿勢を特定する制御装置と、を備え、 前記各撮影装置から前記ステージを見たときに、前記各マーカーの位置は、前記ステージの位置および姿勢によって異なる、ステージ機構。
IPC (7件)：
B25J 11/00 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/26 ,  B29C 67/00 ,  B33Y 30/00 ,  B33Y 50/02 ,  H01L 21/68
FI (7件)：
B25J11/00 D ,  G01B11/00 H ,  G01B11/26 H ,  B29C67/00 ,  B33Y30/00 ,  B33Y50/02 ,  H01L21/68 K
Fターム (52件)：
2F065AA04 ,  2F065AA37 ,  2F065BB05 ,  2F065BB28 ,  2F065DD04 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP21 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ38 ,  3C707BS24 ,  3C707KS17 ,  3C707KS20 ,  3C707KT02 ,  3C707KT06 ,  3C707LT14 ,  3C707LV19 ,  4F213WA25 ,  4F213WB01 ,  4F213WL02 ,  4F213WL32 ,  4F213WL35 ,  4F213WL73 ,  4F213WL74 ,  4F213WL85 ,  4F213WL92 ,  5F131CA18 ,  5F131CA37 ,  5F131EA05 ,  5F131EA13 ,  5F131EA14 ,  5F131EA22 ,  5F131EA23 ,  5F131EA24 ,  5F131EA25 ,  5F131FA17 ,  5F131FA39 ,  5F131KA03 ,  5F131KA14 ,  5F131KA44 ,  5F131KA45 ,  5F131KA47 ,  5F131KA72 ,  5F131KB07 ,  5F131KB12 ,  5F131KB22 ,  5F131KB55 ,  5F131KB56
引用特許：
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM