特許
J-GLOBAL ID：201603001447277996
光硬化性ナノインプリント用組成物を用いたパターンの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-158265
公開番号（公開出願番号）：特開2013-042124
特許番号：特許第6008628号
出願日： 2012年07月17日
公開日（公表日）： 2013年02月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 下記の工程A)〜D)を含むことを特徴とするパターンの製造方法。
A)下記式(2)
(式中、
R2は、炭素数1〜4のアルキル基であり、同一の基であっても、異なる基であっても良く、
nは1〜10の整数である。)で示されるアルコキシシラン、及び
下記式(3)
(式中、
R3は、水素原子、またはメチル基であり、
R4は、炭素数1〜20のアルキレン基、または炭素数3〜10のシクロアルキレン基であり、
R5は、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数3〜4のシクロアルキル基、または炭素数6〜12のアリール基であり、
R6は、炭素数1〜4のアルキル基、または炭素数3〜4のシクロアルキル基であり、
lは0〜2の整数であり、mは1〜3の整数であり、ただし、l+m=1〜3であり、
R3、R4、R5、およびR6がそれぞれ複数存在する場合には、その複数のR3、R4、R5、およびR6は、同一であっても、異なる基であっても良い。)で示される(メタ)アクリル基含有アルコキシシラン
を含むアルコキシシラン類の加水分解物、
下記式(1)
(式中、
Mは、ジルコニウム、またはチタニウムであり
R1は、炭素数1〜10のアルキル基であり、同一の基であっても、異なる基であっても良い。)で示される金属アルコキシドの加水分解物、並びに
(メタ)アクリル基を有する重合性単量体(ただし、前記式(3)で示される(メタ)アクリル基含有アルコキシシランは除く。)
を含有する光硬化性ナノインプリント用組成物を基板上に塗布し塗膜を形成する工程、
B)パターンが形成された金型のパターン形成面と前記塗膜とを接触させ、金型のパターンを転写する工程、
C)光照射して塗膜を硬化させる工程、
D)塗膜を硬化させた後に、120°C〜250°Cで熱処理をすることで金型のパターンよりも微細なパターンを基板上に形成する工程。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, B29C 59/02 ( 200 6.01)
, B29C 33/38 ( 200 6.01)
H01L 21/30 502 D
, B29C 59/02 ZNM Z
, B29C 33/38
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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