特許
J-GLOBAL ID:201603002031094376

X線回折装置、X線回折測定方法および制御プログラム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 福地 武雄 ,  白川 洋一
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-086740
公開番号(公開出願番号):特開2014-211328
特許番号:特許第6033160号
出願日: 2013年04月17日
公開日(公表日): 2014年11月13日
請求項(抜粋):
【請求項1】 X線を試料に照射し、各角度範囲においてフレーム撮影をするX線回折装置であって、 シャッターを閉じることなくスキャンすることでフレーム撮影を制御する制御部と、 前記フレーム撮影により、半導体ピクセル検出器で検出された各フレームの検出データを取り込むデータ取得部と、 前記スキャン毎に前記取り込んだ検出データをフレーム毎に積算するフレーム積算部と、 前記スキャン毎に前記積算された検出データが十分な強度か否かを判定する判定部と、を備え、 前記制御部は、前記積算された検出データが十分な強度である場合には測定を終了し、前記積算された検出データが十分な強度でない場合には再度スキャンし、前記積算された検出データに、前記再度スキャンして得られた検出データをさらに積算するように制御することを特徴とするX線回折装置。
IPC (1件):
G01N 23/207 ( 200 6.01)
FI (1件):
G01N 23/207
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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