特許
J-GLOBAL ID:200903075399586270

めっき層に含まれる金属相の付着量のオンライン測定方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 渡辺 望稔 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-293792
公開番号(公開出願番号):特開2002-098656
出願日: 2000年09月27日
公開日(公表日): 2002年04月05日
要約:
【要約】【課題】X線回折法を用いた、めっき層に含まれる金属相の付着量を測定する方法において、金属相からのX線回折強度を高め、金属相の付着量の測定精度を向上させる。【解決手段】めっき層に含まれる金属相からの回折X線を、該回折X線によるデバイ環上の所定の範囲で測定することにより、検出手段での測定時間当たりの回折X線のカウント数を増加し、得られる回折X線強度データを積算することにより、該X線強度データが高められ、それにより金属相の付着量の測定精度が向上する。
請求項(抜粋):
X線回折法を用いて、めっき層に含まれる金属相の付着量を測定する方法において、めっき層に含まれる金属相からの回折X線を、デバイ環上の所定の範囲に渡って測定し、得られる回折X線強度データを積算することを特徴とするめっき層に含まれる金属相の付着量の測定方法。
IPC (5件):
G01N 23/20 ,  C23C 2/06 ,  C23C 2/28 ,  C23C 2/40 ,  G01N 33/20
FI (5件):
G01N 23/20 ,  C23C 2/06 ,  C23C 2/28 ,  C23C 2/40 ,  G01N 33/20 Q
Fターム (35件):
2G001AA01 ,  2G001BA18 ,  2G001BA22 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA06 ,  2G001DA07 ,  2G001DA10 ,  2G001EA06 ,  2G001EA09 ,  2G001FA01 ,  2G001FA09 ,  2G001GA01 ,  2G001GA08 ,  2G001JA09 ,  2G001JA15 ,  2G001KA09 ,  2G001KA11 ,  2G001LA02 ,  2G001MA05 ,  2G001NA10 ,  2G001NA13 ,  2G001NA17 ,  2G001SA02 ,  2G055AA05 ,  2G055BA01 ,  2G055CA18 ,  2G055EA08 ,  4K027AA05 ,  4K027AA22 ,  4K027AB42 ,  4K027AC73 ,  4K027AE27 ,  4K027AE32
引用特許:
審査官引用 (19件)
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