特許
J-GLOBAL ID：201603004514457456
液浸インプリント方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-219201
公開番号（公開出願番号）：特開2016-027963
出願日： 2015年11月09日
公開日（公表日）： 2016年02月25日
要約：
【課題】インプリント工程中の雰囲気を構成する気体が、モールド表面に形成された凹凸構造内の空隙に取り込まれることによる転写精度の低下を防止する。【解決手段】 基板表面上に塗布した成形材料を成形温度に加熱し、この成形材料をモールドに対してプレスして、モールド表面に形成した凹凸構造を転写する工程を備えたインプリント方法において、成形材料をモールドに対してプレスする工程に先立って、モールド表面に形成された凹凸構造内部に、成形材料の成形温度より沸点及び発火点が高い液体を充填し、該凹凸構造内部の空気と置換する工程を設ける。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
基板表面上に塗布した成形材料を成形温度に加熱し、前記成形材料を前記モールドに対してプレスして、モールド表面に形成した凹凸構造を転写する工程を備えたインプリント方法において、
前記成形材料を前記モールドに対してプレスを行うプレス工程に先立って、前記モールド表面に形成された凹凸構造内部に、前記成形材料の成形温度より沸点及び発火点が高く、かつ、前記成形材料として使用する熱可塑性材料に対し化学反応を起こさない不活性液体を、前記凹凸構造の内部の空気を排除するように充填する液体充填工程を備え、
前記プレス工程において、前記成形材料が前記凹凸構造の凹部内に流入し、前記不活性液体が押し出され、前記モールドの端部から排出されることを特徴とするインプリント方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B29C59/02 Z
, H01L21/30 502D
4F209AA21
, 4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209AJ06
, 4F209AR02
, 4F209AR06
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PC01
, 4F209PC05
, 4F209PH02
, 4F209PH30
, 4F209PN03
, 4F209PN06
, 4F209PQ11
, 5F146AA31
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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