特許
J-GLOBAL ID：201603004568924351

プラズマガス利用加工装置と方法

発明者：
片平 和俊

片平 和俊 について

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小茂鳥 潤

小茂鳥 潤 について

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後藤 隆司

後藤 隆司 について

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渡邉 健志

渡邉 健志 について


出願人/特許権者：
国立研究開発法人理化学研究所

国立研究開発法人理化学研究所 について

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日進工具株式会社

日進工具株式会社 について


代理人 (2件)： 堀田 実 ,  野村 俊博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-251542
公開番号（公開出願番号）：特開2016-112628
出願日： 2014年12月12日
公開日（公表日）： 2016年06月23日
要約：
【課題】被加工物を冷却しながら被加工物を加工する場合に、被加工物の冷却性能を向上させること、および、切り屑またはその反応物が微細工具に付着しないようにすることを達成する手段を提供する。【解決手段】プラズマガス利用加工装置10は、被加工物1に微細加工を行う微細工具3を有する加工機20と、被加工物1において微細工具3により微細加工される加工点Pmに冷却液を供給する冷却液供給装置5と、加工点Pmにプラズマガスを供給するプラズマガス供給装置7とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被加工物に微細加工を行う微細工具を有する加工機と、被加工物において前記微細工具により微細加工される加工点に冷却液を供給する冷却液供給装置を備え、前記微細加工の時にプラズマガスを利用するプラズマガス利用加工装置であって、 前記加工点にプラズマガスを供給するプラズマガス供給装置を備える、ことを特徴とするプラズマガス利用加工装置。
IPC (1件)：
B23C 3/00
FI (1件)：
B23C3/00
Fターム (1件)：
3C022AA10
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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