プラズマガス利用加工装置と方法

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出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：堀田実 , 野村俊博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-251542
公開番号（公開出願番号）：特開2016-112628
出願日： 2014年12月12日
公開日（公表日）： 2016年06月23日
要約：

【課題】被加工物を冷却しながら被加工物を加工する場合に、被加工物の冷却性能を向上させること、および、切り屑またはその反応物が微細工具に付着しないようにすることを達成する手段を提供する。【解決手段】プラズマガス利用加工装置10は、被加工物1に微細加工を行う微細工具3を有する加工機20と、被加工物1において微細工具3により微細加工される加工点Pmに冷却液を供給する冷却液供給装置5と、加工点Pmにプラズマガスを供給するプラズマガス供給装置7とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被加工物に微細加工を行う微細工具を有する加工機と、被加工物において前記微細工具により微細加工される加工点に冷却液を供給する冷却液供給装置を備え、前記微細加工の時にプラズマガスを利用するプラズマガス利用加工装置であって、前記加工点にプラズマガスを供給するプラズマガス供給装置を備える、ことを特徴とするプラズマガス利用加工装置。

IPC (1件)：

B23C 3/00

FI (1件)：

B23C3/00

Fターム (1件)：

3C022AA10

引用特許：

審査官引用 (4件)

難加工材料の精密加工方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-041092 出願人：国立大学法人大阪大学
オイルミスト噴射装置及び噴射方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-193285 出願人：株式会社荏原製作所
酸化膜形成装置及び酸化膜形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-164344 出願人：シャープ株式会社

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