特許
J-GLOBAL ID：201103072589071284
難加工材料の精密加工方法及びその装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
柳野 隆生
, 森岡 則夫
, 関口 久由
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-041092
公開番号（公開出願番号）：特開2011-176243
出願日： 2010年02月25日
公開日（公表日）： 2011年09月08日
要約：
【課題】 SiC、GaN又はWC等の超硬合金を始めとする難加工材料の表面に、大気圧プラズマで生成した高密度ラジカルを照射して、ラッピングやポリシング等の機械研磨で容易に除去が可能になるように表面の機械的性質を改質し、スクラッチフリー、ダメージフリーの高品位表面を高能率に創成することが可能な難加工材料の精密加工方法及びその装置を提供する。【解決手段】 大気圧プラズマによって生成した反応性の高い酸化種を難加工材料の表面に作用させて改質し、難加工材料に表面改質層を形成する表面改質プロセスと、難加工材料に対してスクラッチや加工変質層を導入せず、且つ難加工材料よりも表面改質層に対する除去レートが高い研磨機構によって表面改質層を選択的に除去する研磨プロセスと、を含み、表面改質プロセスと研磨プロセスを交互に繰り返し、あるいは同時に進行させて加工する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
大気圧プラズマによって生成した反応性の高い酸化種を難加工材料の表面に作用させて改質し、難加工材料に表面改質層を形成する表面改質プロセスと、
難加工材料に対してスクラッチや加工変質層を導入せず、且つ難加工材料よりも前記表面改質層に対する除去レートが高い研磨機構によって該表面改質層を選択的に除去する研磨プロセスと、
を含み、前記表面改質プロセスと研磨プロセスを交互に繰り返し、あるいは同時に進行させて加工することを特徴とする難加工材料の精密加工方法。
IPC (3件)：
H01L 21/304
, B24B 37/04
, B24B 37/00
H01L21/304 621B
, B24B37/04 Z
, B24B37/00 T
3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058AC01
, 3C058CA01
, 3C058CA04
, 3C058CB03
, 3C058DA13
, 3C058DA17
