特許
J-GLOBAL ID：201603006752662192

アルミニウム合金膜

発明者：
菅原 浩幸

菅原 浩幸 について


出願人/特許権者：
ジオマテック株式会社

ジオマテック株式会社 について


代理人 (1件)： 坂本 智弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-128537
公開番号（公開出願番号）：特開2013-253278
特許番号：特許第5890256号
出願日： 2012年06月06日
公開日（公表日）： 2013年12月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 アルミニウム膜中に少なくとも1種の他の金属元素が添加され、膜厚が500〜1000nmの範囲にあるアルミニウム合金膜であって、 その膜中に窒素が0.5〜5.7質量%の範囲で含有されているとともに、平面的に観た場合の結晶粒の平均粒径が100nm以下にあり、表面粗さRmaxが60nm以下であり、 Hv硬度が、150以上であり、 可視域における光反射率は、平均的に86%以上であり、そして、 比抵抗は、20μΩ以下である ことを特徴とするアルミニウム合金膜。
IPC (5件)：
C23C 14/14 ( 200 6.01) ,  C22C 21/00 ( 200 6.01) ,  C23C 14/34 ( 200 6.01) ,  H01L 21/285 ( 200 6.01) ,  H01L 21/28 ( 200 6.01)
FI (6件)：
C23C 14/14 B ,  C22C 21/00 N ,  C23C 14/34 M ,  H01L 21/285 S ,  H01L 21/28 301 R ,  H01L 21/285 301
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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