特許
J-GLOBAL ID：201603008203809648
マイクロアコースティック部品および製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長門 侃二
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-560609
公開番号（公開出願番号）：特表2016-516326
出願日： 2014年02月20日
公開日（公表日）： 2016年06月02日
要約：
密閉封止を可能にするカバー(CAP)を備えており、かつ例えばカバーの配置によって改善された音響特性を有しているマイクロアコースティック部品(MAC)を提示する。この部品は、機能性音響領域(FAS)と、内側の周縁領域(IRS)と、外側の周縁領域(ORS)とを含んでいる。カバー(CAP)は、機能性音響領域(FAS)を覆っており、かつ薄膜および載置面(RS)を有している。内側の周縁領域(IRS)は、機能性音響領域(FAS)と音響的に結合されており、かつ載置面(RS)は、少なくとも内側の周縁領域(IRS)の一部の上に直接的に載っている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
機能性音響領域(FAS)と、
前記機能性音響領域(FAS)を囲んでいる内側の周縁領域(IRS)と、
前記内側の周縁領域(IRS)を囲んでいる外側の周縁領域(ORS)と、
前記機能性音響領域(FAS)を覆い、かつ薄膜および載置面(RS)を備えるカバー(CAP)と
を含んでいるマイクロアコースティック部品(MAC)であって、
前記内側の周縁領域(IRS)が、前記機能性音響領域(FAS)と音響的に結合されており、かつ
前記載置面(RS)が、少なくとも前記内側の周縁領域(IRS)の一部に直接的に載っている、マイクロアコースティック部品(MAC)。
IPC (7件)：
H03H 9/25
, H03H 3/08
, H03H 9/17
, H03H 3/02
, H01L 41/09
, H01L 41/113
, H01L 41/053
H03H9/25 Z
, H03H3/08
, H03H9/17 F
, H03H3/02 B
, H03H9/25 A
, H01L41/09
, H01L41/113
, H01L41/053
5J097AA29
, 5J097BB01
, 5J097DD01
, 5J097EE08
, 5J097FF01
, 5J097FF02
, 5J097HA03
, 5J097HA04
, 5J097KK09
, 5J097KK10
, 5J108AA07
, 5J108BB04
, 5J108BB07
, 5J108BB08
, 5J108CC11
, 5J108EE03
, 5J108EE04
, 5J108EE07
, 5J108KK01
, 5J108KK04
, 5J108MM11
