特許
J-GLOBAL ID：201203023041127806
トリミング効果とピストンモードでの不安定性を最小化する音響波導波装置および方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森下 賢樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-049020
公開番号（公開出願番号）：特開2012-186808
出願日： 2012年03月06日
公開日（公表日）： 2012年09月27日
要約：
【課題】高結合基板上にSAWトランスデューサまたはSAW共振器を形成し、トランスデューサ領域での導波を保証することにより、トランスデューサ領域のエネルギを誘導する方法を提供する。【解決手段】圧電基板の表面上にインターデジタルトランスデューサを形成し、音響波を該トランスデューサを通って横方向に誘導するための、横方向に延在する中央領域と横方向に対向するエッジ領域を有する電極で、酸化ケイ素保護膜は該トランスデューサを被覆し、窒化ケイ素層は、該中央領域とエッジ領域内だけの酸化ケイ素保護膜を被覆する。窒化ケイ素層の厚みは中央領域内の音響波の周波数を変更させるに十分なものであり、対向するエッジ領域それぞれ内のチタンストリップの配置によって最適化される。該チタンストリップは、エッジ領域内の音響波速度がトランスデューサ中央領域内の波速度より小さくなるように、エッジ領域内の速度を低減する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
音響波をサポートする表面を有する圧電基板と;
前記圧電基板の前記表面上に担持されたインターデジタルトランスデューサであって、このトランスデューサの複数の電極のそれぞれは、第1のバスバーと第2のバスバーの内の少なくとも1つに電気的に接続された第1の端部と、前記対向するバスバーから離れたエッジを有する対向する第2の端部と、を有して、前記トランスデューサに沿って長手方向に延在するギャップ領域を形成する、前記各電極のエッジと前記対向するバスバー間のギャップを形成し、前記各電極は、前記バスバーに近接し概ね前記ギャップ領域内に含まれる横方向に延在する第1の部分と、前記エッジに近接し、前記トランスデューサに沿って長手方向に延在するエッジ領域を定義する横方向に延在する第2の部分と、トランスデューサ中央領域を定義する、前記第1の部分と前記第2の部分間の電極の横方向に延在する第3の部分と、トランスデューサを埋め込むためにトランスデューサを被覆する第の誘電体層と、によってさらに定義されるトランスデューサと;
少なくとも前記中央領域とエッジ領域内の前記複数の電極を被覆し、前記中央領域内の前記音響波の周波数変更に十分なものである第2の誘電体層と;
前記中央領域と前記エッジ領域の内の少なくとも1つ内の前記音響波の速度変更に十分な誘電体層であって、前記中央領域と2つのエッジ領域の1つだけ内に延在する第3の層と、を備え、前記エッジ領域での速度は前記中央領域での速度より小さいことを特徴とする音響波装置。
IPC (3件)：
H03H 9/145
, H03H 9/25
, H03H 3/08
H03H9/145 Z
, H03H9/145 C
, H03H9/25 C
, H03H3/08
5J097AA14
, 5J097AA28
, 5J097BB02
, 5J097DD04
, 5J097DD29
, 5J097FF03
, 5J097FF05
, 5J097GG04
, 5J097HA03
, 5J097HB04
, 5J097KK04
, 5J097KK05
, 5J097KK09
