MEMS圧電センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：稲岡耕作 , 川崎実夫 , 京村順二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-151982
公開番号（公開出願番号）：特開2016-031237
出願日： 2014年07月25日
公開日（公表日）： 2016年03月07日
要約：

【課題】高感度化および多軸化に有利な構造のMEMS圧電センサを提供する。【解決手段】MEMS圧電センサ1は、中心軸線20を有するカップ形状のセンサボディ2と、中心軸線20を含む所定の結合領域18でセンサボディ2に結合され、センサボディ2を支持する支持構造3と、センサボディ2の表面に形成された圧電体膜6と、中心軸線20を中心とした放射状に配置され、圧電体膜6の表面に接合された複数個の電極Ed,Esとを含む。複数個の電極Ed,Esは、たとえば、一対の励振電極Edと、一対の検出電極Esとを含む。センサボディ2は、円板状の底部21および円筒状の胴部22を含む。支持構造3は、底部21に結合された柱状部25と、柱状部を支持する支持基板31とを含む。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

中心軸線を有するカップ形状のセンサボディと、前記中心軸線を含む所定の結合領域で前記センサボディに結合され、前記センサボディを支持する支持構造と、前記センサボディの表面に形成された圧電体膜と、前記カップ形状の前記中心軸線を中心とした放射状に配置され、前記圧電体膜の表面に接合された複数個の電極とを含む、MEMS圧電センサ。

IPC (5件)：

G01C 19/569 , H01L 41/047 , H01L 41/113 , H01L 41/29 , B81B 3/00

FI (5件)：

G01C19/56 191 , H01L41/047 , H01L41/113 , H01L41/29 , B81B3/00

Fターム (26件)：

2F105BB02 , 2F105CC04 , 2F105CD02 , 2F105CD06 , 3C081AA01 , 3C081AA13 , 3C081BA22 , 3C081BA43 , 3C081BA46 , 3C081BA48 , 3C081BA55 , 3C081CA02 , 3C081CA05 , 3C081CA14 , 3C081CA15 , 3C081CA26 , 3C081CA28 , 3C081CA32 , 3C081DA03 , 3C081DA04 , 3C081DA25 , 3C081DA30 , 3C081EA02 , 3C081EA03 , 3C081EA04 , 3C081EA21

引用特許：

審査官引用 (5件)

回転率センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-051514 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
微細加工振動構造及び関連するマイクロ・ジャイロスコープ
公報種別：公表公報出願番号：特願2006-544490 出願人：コミサリアアレネルジアトミク
振動ジャイロ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-339179 出願人：赤井電機株式会社

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