特許
J-GLOBAL ID:201603009223616109
GaNバルク結晶
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (7件):
川口 嘉之
, 松倉 秀実
, 高田 大輔
, 佐貫 伸一
, 丹羽 武司
, 香坂 薫
, 下田 俊明
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-081735
公開番号(公開出願番号):特開2013-209260
特許番号:特許第5949064号
出願日: 2012年03月30日
公開日(公表日): 2013年10月10日
請求項(抜粋):
【請求項1】 非極性面または半極性面を主面とするGaN下地基板上に成長させたGaN結晶からなるGaNバルク結晶であって、
該GaN結晶の(100)面X線逆格子マッピングにより得られる等強度線図から導き出される、最大強度を含むQx方向の強度プロファイルにおいて、ピーク強度値に対して1/300強度値を示すQx幅が6×10-4rlu以下である
ことを特徴とするGaNバルク結晶。
IPC (2件):
C30B 29/38 ( 200 6.01)
, H01L 21/205 ( 200 6.01)
FI (2件):
C30B 29/38 D
, H01L 21/205
引用特許: