特許
J-GLOBAL ID：201603009480860487

OLEDデバイスの加工方法

発明者：
ベルマン,ロバート アラン

ベルマン,ロバート アラン について

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ブックバインダー,ダナ クレイグ

ブックバインダー,ダナ クレイグ について

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マンリー,ロバート ジョージ

マンリー,ロバート ジョージ について

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マズムダー,プランティク

マズムダー,プランティク について


出願人/特許権者：
コーニング インコーポレイテッド

コーニング インコーポレイテッド について


代理人 (2件)： 柳田 征史 ,  佐久間 剛
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-547443
公開番号（公開出願番号）：特表2015-537364
出願日： 2013年12月09日
公開日（公表日）： 2015年12月24日
要約：
キャリア(10)に結合された薄シート(20)における電子デバイスの製造方法。表面変性層(30)および関連する熱処理は、電子デバイス加工の間、薄シートとキャリアとの間で室温ファンデルワールス(および/または水素)結合、ならびに高温共有結合を制御するための、シート(20)、キャリア(10)または両方において提供されてもよい。室温結合は、電子デバイス加工の間、真空加工、湿潤加工および/または超音波洗浄加工の間、一緒に薄シートおよびキャリアを保持するために十分であるように制御される。そして同時に、高温共有結合は、電子デバイス加工の間、高温加工の間に薄シートとキャリアとの間の永久的な結合を防ぐように、また高温加工の間に層間剥離を防ぐために十分な結合を維持するように制御される。
請求項（抜粋）：
電子デバイスの製造方法において、 キャリア結合表面を有するキャリアを得るステップと、 シート結合表面を有するシートを得るステップと、 表面変性層を前記キャリア結合表面および前記シート結合表面の一方に配置するステップと、 前記キャリア結合表面を前記シート結合表面と、その間の前記表面変性層によって結合して、前記シートを前記キャリアに結合する表面エネルギーが、物品に、9.2°C/分の速度で室温から600°Cまで循環され、10分間、600°Cの温度で保持し、次いで、1°C/分で300°Cまで冷却されるチャンバーにおいて加熱し、次いで、前記チャンバーから前記物品を取り出し、前記物品を室温まで冷却することによる温度サイクルを受けさせた後、前記キャリアおよびシートが、一方が保持されて、他方が重力を受ける場合に、互いに分離せず、前記温度サイクルの間、前記表面変性層からの脱気が生じず、かつ前記シートが、前記キャリアおよび前記シートのうちのより薄い方を2つ以上の断片に破断することなく、前記キャリアから分離され得るような特徴のものであるように、前記物品を形成するステップと、 電子デバイス部品を前記シートに配置するステップと を有してなる方法。
IPC (2件)：
H05B 33/10 ,  H01L 51/50
FI (2件)：
H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (13件)：
3K107AA01 ,  3K107CC21 ,  3K107CC45 ,  3K107DD12 ,  3K107DD16 ,  3K107DD17 ,  3K107EE43 ,  3K107EE45 ,  3K107EE49 ,  3K107FF00 ,  3K107FF15 ,  3K107FF17 ,  3K107GG28
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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