特許
J-GLOBAL ID:201603009765660252

電子顕微鏡観察用試料台、並びに試料の断面観察方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 小池 晃 ,  伊賀 誠司 ,  藤井 稔也 ,  祐成 篤哉
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-014142
公開番号(公開出願番号):特開2014-146493
特許番号:特許第6024485号
出願日: 2013年01月29日
公開日(公表日): 2014年08月14日
請求項(抜粋):
【請求項1】 断面加工を行った後の試料の断面観察を行うための電子顕微鏡用の試料台であって、 本体胴部上面に所定の深さの凹部を有するとともに、本体胴部側面に該側面から該凹部までを貫通する少なくとも1つの貫通孔が形成された試料台本体と、 上記貫通孔に挿入される固定部材とを備え、 上記断面加工を行った試料を載置した断面加工用試料台が、上記試料台本体の凹部に載置され、上記貫通孔を貫通した上記固定部材により固定されて取り付けられ、 上記凹部の深さは、上記載置固定される上記断面加工用試料台の高さ方向の長さよりも短いことを特徴とする電子顕微鏡観察用試料台。
IPC (4件):
H01J 37/20 ( 200 6.01) ,  G01N 1/28 ( 200 6.01) ,  G01N 23/225 ( 200 6.01) ,  G01N 1/32 ( 200 6.01)
FI (5件):
H01J 37/20 A ,  G01N 1/28 W ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/20 Z ,  G01N 1/32 A
引用特許:
審査官引用 (4件)
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