特許
J-GLOBAL ID：201603010361946380
バルク波共振子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人 宮▲崎▼・目次特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-516753
特許番号：特許第5994850号
出願日： 2013年05月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板と、
前記基板の上に、間接的に設けられている下部保護層と、
前記下部保護層の上に、直接的に設けられている第1の電極と、
前記第1の電極の上に設けられている、下面と上面とを有するスカンジウム含有窒化アルミニウム膜と、
前記スカンジウム含有窒化アルミニウム膜の上に形成されており、前記第1の電極と前記スカンジウム含有窒化アルミニウム膜を介して重なり合っている第2の電極と、
前記スカンジウム含有窒化アルミニウム膜の前記上面と前記第2の電極とを保護するように設けられている上部保護層と、
を備え、
前記第1の電極と第2の電極とが重なり合っている部分により圧電振動部が構成されており、
前記スカンジウム含有窒化アルミニウム膜におけるスカンジウムとアルミニウムとの合計を100原子%としたときに、スカンジウム含有濃度が37〜39.5原子%の範囲にあり、
前記基板と前記下部保護層との間に中空の空間が形成されており、
前記上部保護層及び前記下部保護層が、AlN及びScAlNの少なくとも一方で構成されており、
前記スカンジウム含有窒化アルミニウム膜は、六方晶構造である、バルク波共振子。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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