特許
J-GLOBAL ID：201603013944230179
誘電体材料
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
, 鈴木 三義
, 村山 靖彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-005473
公開番号（公開出願番号）：特開2014-138061
特許番号：特許第6032022号
出願日： 2013年01月16日
公開日（公表日）： 2014年07月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 絶縁性材料中に導電性粒子を分散した複合焼結体からなる静電チャック用の誘電体材料であって、
前記導電性粒子は、その体積粒度分布における累積体積百分率が10体積%の粒子径D10は0.2μm以下、累積体積百分率が90体積%の粒子径D90は2μm以下であり、累積体積百分率が90体積%の粒子径D90の累積体積百分率が10体積%の粒子径D10に対する比(D90/D10)は3.0以上であり、累積体積百分率が90体積%の粒子径D90の累積体積百分率が50体積%の粒子径D50に対する比(D90/D50)は1.4以上であり、
前記導電性粒子の含有率は、4質量%以上かつ20質量%以下であることを特徴とする誘電体材料。
IPC (5件)：
H01B 3/10 ( 200 6.01)
, H01B 1/16 ( 200 6.01)
, B23Q 3/15 ( 200 6.01)
, H02N 13/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/683 ( 200 6.01)
H01B 3/10
, H01B 1/16 Z
, B23Q 3/15 D
, H02N 13/00 D
, H01L 21/68 R
