X線検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：西村教光 , 鈴木典行
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-076818
公開番号（公開出願番号）：特開2013-205338
特許番号：特許第5917977号
出願日： 2012年03月29日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】搬送路(2a)上を搬送される被検査物Wに異なるエネルギーのX線で撮像した複数の透過画像を合成して、合成画像を用いて前記被検査物(W)を検査するX線検査装置(1)において、前記搬送路を形成して該搬送路上の前記被検査物を所定の搬送方向に搬送する搬送手段(2)と、前記搬送路上の所定の検査エリアで同一の被検査物Wに対して異なるエネルギーのX線を照射するX線発生器(3)と、前記X線発生器から照射されるX線のエネルギーを前記X線発生器の管電圧及び管電流を制御して切り換える切換手段(11)と、前記搬送路上に前記検査エリアを形成するように面状に配置された複数のX線検出素子(4a)からなり、前記被検査物を透過したX線を検出して透過画像を撮像するX線検出器(4)と、前記X線検出器で撮像された同一の被検査物に対する複数の透過画像を記憶する記憶手段(12)と、前記搬送手段に搬送される前記被検査物が前記検査エリアに収まると該搬送手段を停止させ、前記X線検出器による撮像が完了すると該搬送手段を動作させるように制御する搬送制御手段(13)と、前記X線発生器から照射されるX線のエネルギーが切り換わったか否かを前記切換手段が制御する前記管電圧及び前記管電流に応じて設定された安定時間のテーブルに基づいて確認する確認手段(14)と、を備えることを特徴とするX線検査装置。

IPC (3件)：

G01N 23/04 ( 200 6.01) , G01N 23/087 ( 200 6.01) , G01N 23/18 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G01N 23/04 , G01N 23/087 , G01N 23/18

引用特許：

審査官引用 (4件)

異物検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-129540 出願人：株式会社島津製作所
X線による異物検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-100968 出願人：三菱重工業株式会社
異物検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-322874 出願人：三菱重工業株式会社

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