特許
J-GLOBAL ID：201603014364701430
表面検査装置及び表面検査方法。
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
▲高▼荒 新一
, 江口 基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-005227
公開番号（公開出願番号）：特開2016-130695
出願日： 2015年01月14日
公開日（公表日）： 2016年07月21日
要約：
【課題】一台の表面検査装置で、複数の基準で表面欠陥を検出することができる表面検査装置を提供する。【解決手段】積置面22に積置された検査対象物10に対して、検査対象物10の表面側に位置する表示手段30に光表示パターンを表示し、検査対象物10の表面によって反射された光表示パターンを撮像手段40で撮像し、この撮像した光表示パターンを含む撮像情報に基づいて、検査対象物10の表面に異常があるか否かを判定することができる。このとき、表示手段30に複数種類の光表示パターンを表示することにより、表示手段30に表示する光表示パターンを変更するという簡単な操作で、複数の基準で検査対象物10の表面を検査することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
検査対象物の表面を検査する表面検査装置であって、
前記検査対象物を積置する積置面と、
前記検査対象物の表面側に位置し、複数種類の光表示パターンを表示可能な表示手段と、
前記表示手段で表示され、前記検査対象物の表面によって反射された光表示パターンを撮像する撮像手段と、
前記撮像手段が撮像した光表示パターンに基づいて、検査対象物の表面に異常が存在するか否かを判定する検査手段と、
を備えたことを特徴とする、
表面検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
2G051AB02
, 2G051AB07
, 2G051BA20
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051EA16
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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