EUV用途向けの光学系の少なくとも1つのシステムコンポーネントのための冷却システム、並びにこの種のシステムコンポーネント及びこの種の光学系

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：杉村憲司 , 下地健一 , 福尾誠
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-544470
公開番号（公開出願番号）：特表2016-505882
出願日： 2013年11月29日
公開日（公表日）： 2016年02月25日
要約：

EUV用途向けの光学系の少なくとも1つのシステムコンポーネント(24)のための冷却システムが、少なくとも1つの冷却チャネル(90)と、少なくとも1つの冷却チャネル(90)を通って少なくとも1つのシステムコンポーネント(24)から熱を吸収し、熱を奪い去る冷却媒体(92)とを備える。冷却媒体(92)は、純水、1,1,1,2-テトラフルオロエタン(R134a)、及びクロロジフルオロメタン(R22)を除く誘電性流体を含む。誘電性流体は、10bar未満の使用圧力及び約10°C〜約50°Cの温度範囲で液相を含む。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

EUV用途向けの光学系(10、12、18、32、38、44)の少なくとも1つのシステムコンポーネント(16、22、24、26、28、34、40、52、54)のための冷却システムであって、少なくとも1つの冷却チャネル(90;108)と、該少なくとも1つの冷却チャネルを通って前記少なくとも1つのシステムコンポーネント(16、22、24、26、28、34、40、52、54)から熱を吸収し、該熱を奪い去る冷却媒体(92)とを備え、該冷却媒体(92)は、純水、1,1,1,2-テトラフルオロエタン(R134a)、及びクロロジフルオロメタン(R22)を除く、好ましくは不燃性の誘電性流体を含む冷却システムにおいて、前記誘電性流体は、10bar未満の使用圧力及び約10°C〜約50°Cの温度範囲で液相を含むことを特徴とする冷却システム。

IPC (2件)：

G03F 7/20 , C09K 5/04

FI (2件)：

G03F7/20 503 , C09K5/04 C

Fターム (10件)：

2H197AA10 , 2H197AA11 , 2H197CA10 , 2H197CA16 , 2H197GA01 , 2H197GA14 , 2H197GA21 , 2H197GA23 , 2H197GA24 , 2H197GA30

引用特許：

審査官引用 (7件)

リソグラフィ装置の一部を熱調節する熱調節システム及び熱調節方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2012-092233 出願人：エーエスエムエルネザーランズビー.ブイ.
反射鏡の熱変形防止方法及び熱的変形の少ないEUV用反射鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-176175 出願人：株式会社ニコン
伝熱流体としてのヒドロフルオロエーテル
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-530423 出願人：スリーエムイノベイティブプロパティズカンパニー

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引用文献：

審査官引用 (1件)

Fluorinert Electronic Liquid FC-3283

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