特許
J-GLOBAL ID：201603015695757962
最適化された使用特性を有するスパッタターゲット
マーティン シュロット
, マーティン シュロット について
カール クリストフ シュタール
カール クリストフ シュタール について
出願人/特許権者：
ヘレーウス ドイチュラント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト
ヘレーウス ドイチュラント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト について
代理人 (2件)： アインゼル・フェリックス=ラインハルト , 久野 琢也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-542198
公開番号（公開出願番号）：特表2016-501313
出願日： 2013年10月25日
公開日（公表日）： 2016年01月18日
要約：
本発明は、金属酸化物性スパッタ材料を有するスパッタターゲットに関し、前記スパッタ材料は金属としてジルコニウム及びチタンを有し、かつ、少なくとも1の混合酸化物相を含む。
請求項（抜粋）：
金属としてジルコニウム及びチタンを有する金属酸化物性スパッタ材料を有するスパッタターゲットにおいて、スパッタ材料が少なくとも1の混合酸化物相を含むことを特徴とするスパッタターゲット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
出願人引用 (4件)
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チタン酸ジルコン酸鉛系焼結体の製造方法、チタン酸ジルコン酸鉛系焼結体及びチタン酸ジルコン酸鉛系スパッタリングターゲット
公報種別：公開公報 出願番号：特願2007-336437 出願人：アルバックマテリアル株式会社 -
二酸化チタンを基礎とするスパッタターゲット
公報種別：公開公報 出願番号：特願2002-236064 出願人：ヴエーツエーヘレーウスゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツングウントコンパニーコマンディートゲゼルシャフト -
積層体およびその製造方法
公報種別：公開公報 出願番号：特願平11-200594 出願人：日本板硝子株式会社
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