特許
J-GLOBAL ID:201603016317452475
3層構造、これを用いた5層磁気トンネル接合素子、及び磁気メモリ装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
五十嵐 省三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-188742
公開番号(公開出願番号):特開2016-063024
出願日: 2014年09月17日
公開日(公表日): 2016年04月25日
要約:
【課題】ハーフメタル強磁性体層のスピン分極率を変調できる3層構造を提供すること。【解決手段】フリー層としての金属強磁性体層1、トンネル障壁層2及びピン層としてのハーフメタル強磁性体層3は、3層磁気トンネル接合(MTJ)構造S1を構成する。3層MTJ構造S1のハーフメタル強磁性体層3側には絶縁層4及び導電層5が接合され、ハーフメタル強磁性体層3のスピン分極率を変調する。ハーフメタル強磁性体層3、絶縁層4及び導電層5は3層構造S2を構成する。ハーフメタル強磁性体層3を共通とする3層MTJ構造S1及び3層構造S2は5層MTJ素子S3を構成する。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
ハーフメタル強磁性体層と、
前記ハーフメタル強磁性体層の下に設けられた絶縁層と、
前記絶縁層の下に設けられた導電層と
を具備し、
前記絶縁層中の電界によって前記ハーフメタル強磁性体層のスピン分極率を変調する3層構造。
IPC (7件):
H01L 43/08
, H01L 43/10
, H01L 29/82
, H01L 21/824
, H01L 27/105
, H01F 10/16
, H01F 10/32
FI (6件):
H01L43/08 M
, H01L29/82 Z
, H01L43/08 Z
, H01L27/10 447
, H01F10/16
, H01F10/32
Fターム (21件):
4M119AA07
, 4M119BB01
, 4M119CC05
, 4M119CC09
, 4M119DD17
, 4M119DD33
, 4M119EE22
, 4M119EE28
, 5E049AA01
, 5E049AA04
, 5E049AC05
, 5E049BA30
, 5E049CB02
, 5E049DB14
, 5F092AB08
, 5F092AC12
, 5F092AD23
, 5F092AD25
, 5F092BB24
, 5F092BB36
, 5F092BB43
引用特許:
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